陰極熒光SEM-CL在半導體金剛石方面的應用
由于金剛石的非凡性能，如極高的硬度，化學惰性，光學透明度，高導熱性以及電絕緣，越來越多的應用領域認識到這種材料提供的好處。特別是在涉及極高功率密度、高機械負荷或惡劣磨料條件的應用中，金剛石通常是滿足這種苛刻要求的材料。金剛石在許多領域都有應用，包括:
1、高功率電子器件:金剛石的特殊電子特性使其成為二極管和hemt等高功率器件Z可靠的候選者。
2、量子信息:氮基空位中心可用作單光子源。
3、MEMS和生物MEMS:金剛石是一種很有前途的單獨尋址電極陣列材料。
4、光學，熱和機械應用:紅外窗口和透鏡。
5、電化學應用:電極和生化傳感器。
6、輻射傳感器:電離輻射探測器/劑量計和熒光束監測儀。
陰極發光是半導體物理研究中的關鍵技術之一。它的應用領域從分析半導體中的缺陷分布到表征這類材料的電性能。這些研究對提高生長參數和設計大功率電子器件具有重要的意義。Attolight CL系統的特點開辟了一個新的研究領域:
a、delta結構的完整表征:具有高達10納米的空間分辨率，這是研究半導體量子阱的強大工具之一。
b、載流子動力學的完整研究:電荷載流子壽命在時間分辨模式下測量。
c、加入摻雜劑:Attolight CL系統可以在深紫外和高達20 K下工作，這意味著滿足了觀察金剛石中激子光譜的良好條件。
d、界面分析:由于高空間分辨率和納米定位階段，可以獲得界面的線形和映射。
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