產品簡介

Attolight定量CL-SEM系統提供 “不折不扣”大視場快速掃描的同時獲取SEM圖像、高光譜CL圖像和光學光譜。較小直徑的晶圓，或形狀混雜的襯底被手動加載到300mm的中間感受器上，然后儀器自動處理。

S?ntis 300全晶圓工業CL-SEM系統是全晶圓陰極發光顯微鏡，可以完全自動化控制150、200和300毫米晶圓。

優點及特點

1、控制300毫米的晶圓

2、CL-SEM掃描成像效率

3、同時進行電鏡成像和光學信號采集

4、邊緣檢測，晶圓準確定位(優于10μm)

5、對晶圓翹曲度自動映射和調整

6、S?ntis 300系統提供3種不同的采集模式，為不同的需求和應用量身定制:

? 面掃描模式（FWBrush模式）

? 線掃描模式（AWPix模式）

? 多點掃描模式

產品應用

工業市場應用：

1、GaN 及其應用:

 高強度LED要求高發射效率和高可靠性。以汽 車應用為例，LED故障影響安全，危及人身安 全；UVC LED 要求高的發射效率和高的發射均勻 性；LED故障會使人的生命處于危險之中，例如在滅菌和消毒應用中。

2、光子學：激光光子學

3、電力電子應用 GaN：電力電子應用需要更大的功率、更小和更輕 的包裝，例如物聯網或汽車應用

4、II-VI族材料：GaAs 及其應用: 太陽能, 電力電子；電力電子SiC ；μLED

其他應用舉例：

1、微觀結構發光二極管(MicroLed)

2、LED質量控制

3、GaN中的螺紋位錯缺陷計數

4、碳化硅襯底質量控制