光纖光譜儀基本配置包括包括一個(gè)光柵，一個(gè)狹縫，和一個(gè)探測(cè)器，通常采用光纖作為信號(hào)耦合器件，將被測(cè)光耦合到光譜儀中進(jìn)行光譜分析。由于光纖的方便性，用戶可以非常靈活的搭建光譜采集系統(tǒng)，優(yōu)勢(shì)在于測(cè)量系統(tǒng)的模塊化和靈活性。

等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)技術(shù)是通過(guò)輝光放電等離子體手段，使含有組成薄膜的氣態(tài)物質(zhì)產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)，獲得沉積薄膜的一種新的制備技術(shù)。由于制備薄膜是通過(guò)反應(yīng)氣體放電來(lái)實(shí)現(xiàn)的，所以非平衡等離子體的反應(yīng)特征在PECVD技術(shù)有效地得到了利用，反應(yīng)體系的能量供給方式從根本上發(fā)生了改變。

反饋腔室電場(chǎng)功率的調(diào)整和變化

等離子體強(qiáng)度可以校準(zhǔn)，使腔室功率與發(fā)射線峰值強(qiáng)度相關(guān)聯(lián)

反饋電子離子反應(yīng)平衡狀態(tài)

使用斯特凡-玻爾茲曼輻照方程把數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成等離子體溫度

• 研究等離子體半反應(yīng)過(guò)程中傳遞到表面的電子激發(fā)物質(zhì)，

• 提供前驅(qū)體半反應(yīng)和整個(gè)過(guò)程性能的信息。

How:

• 從等離子體組成和相對(duì)含量分布的視角監(jiān)控表面反應(yīng)產(chǎn)物，了解沉積過(guò)程的反應(yīng)機(jī)制。

• 時(shí)間分辨等離子體光譜組成和分布可以揭示兩個(gè)半反應(yīng)飽和度的信息，因此也可以通過(guò)等離子體光譜組成和分布優(yōu)化半反應(yīng)時(shí)間。

• 監(jiān)控等離子體光譜組成和分布是一種易于實(shí)現(xiàn)的技術(shù)，用于PECVD等設(shè)備的生產(chǎn)過(guò)程監(jiān)控和過(guò)程控制這有助于減少前驅(qū)體消耗和提高晶圓產(chǎn)量。
  

Where:

• 實(shí)時(shí)反饋前體物流量比和總流量的調(diào)整;

• 沉積速率的控制;

• 監(jiān)控清潔凈化的充分性;

• 反應(yīng)器壁的調(diào)節(jié);

• 工藝故障顯示(進(jìn)氣閥故障、等離子激發(fā)源故障等)

反饋控制反應(yīng)氣體流量比

三、等離子體刻蝕-EPD監(jiān)控

等離子體刻蝕：將硅片表面曝露于氣態(tài)中產(chǎn)生的等離子體，等離子體通過(guò)光刻膠中開(kāi)出的窗口，與硅片發(fā)生物理或化學(xué)反應(yīng)(或這兩種反應(yīng))，從而去掉曝露的表面材料。

在基于等離子體的蝕刻工藝中，等離子體監(jiān)測(cè)對(duì)工藝控制很重要。晶圓是用光刻技術(shù)制造和操作的，蝕刻是這一過(guò)程的主要部分，在這一過(guò)程中，材料可以被分層到一個(gè)非常具體的厚度。當(dāng)這些層在晶圓表面被蝕刻時(shí)，等離子體監(jiān)測(cè)被用來(lái)跟蹤晶圓層的蝕刻，并確定等離子體何時(shí)完全蝕刻了一個(gè)特定的層并到達(dá)下一個(gè)層。通過(guò)監(jiān)測(cè)等離子體在蝕刻過(guò)程中產(chǎn)生的發(fā)射線，可以精確跟蹤蝕刻過(guò)程。這種終點(diǎn)檢測(cè)對(duì)于使用基于等離子體的蝕刻工藝的半導(dǎo)體材料生產(chǎn)至關(guān)重要。

Etching監(jiān)控

在蝕刻和沉積過(guò)程中，等離子室的內(nèi)部可能會(huì)涂有殘留材料。通過(guò)監(jiān)測(cè)O與F譜線強(qiáng)度的比率來(lái)檢測(cè)清潔度水平。較高的氧氟比表明腔室相對(duì)清潔這可能表明該腔室正在有效地去除氟殘留物。

濕法刻蝕溶液濃度的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)

實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)的優(yōu)點(diǎn)

• 通過(guò)化學(xué)品再利用和減少有毒廢物節(jié)省成本實(shí)時(shí)監(jiān)控和集中調(diào)整確定所需的最低濃度

• 實(shí)紲馀輕如螓幸崴汞嶅個(gè)監(jiān)控和集中調(diào)整

• 確定所需的最低濃度

固化是指通過(guò)特定的方式使物質(zhì)從液態(tài)或可塑狀態(tài)轉(zhuǎn)變?yōu)楣虘B(tài)的過(guò)程。在許多工業(yè)領(lǐng)域，如涂料、油墨、膠粘劑等行業(yè)，紫外光固化技術(shù)被廣泛應(yīng)用。紫外光固化利用紫外光的能量引發(fā)化學(xué)反應(yīng)，使液態(tài)的樹(shù)脂快速固化成固態(tài)的聚合物。這個(gè)過(guò)程具有高效、節(jié)能、環(huán)保等優(yōu)點(diǎn)，但同時(shí)也需要精確控制紫外光的輸出，以確保固化效果和產(chǎn)品質(zhì)量。

光譜儀可以實(shí)時(shí)測(cè)量固化過(guò)程中紫外光的強(qiáng)度。通過(guò)對(duì)不同波長(zhǎng)的紫外光進(jìn)行檢測(cè)，可以獲得紫外光在整個(gè)光譜范圍內(nèi)的強(qiáng)度分布。這對(duì)于確保紫外光源的穩(wěn)定性和一致性至關(guān)重要。例如，在涂料固化過(guò)程中，如果紫外光強(qiáng)度不足，可能導(dǎo)致涂料固化不完全，影響涂層的性能；而如果紫外光強(qiáng)度過(guò)高，可能會(huì)引起涂層老化、變色等問(wèn)題。

實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)還可以幫助及時(shí)發(fā)現(xiàn)紫外光源的故障或衰減。例如，如果紫外燈的壽命即將到期，其輸出的紫外光強(qiáng)度會(huì)逐漸降低，光譜儀可以及時(shí)檢測(cè)到這種變化，提醒操作人員更換紫外燈，以保證固化過(guò)程的正常進(jìn)行。

光譜儀還可以評(píng)估固化后的產(chǎn)品質(zhì)量。例如，通過(guò)測(cè)量固化后產(chǎn)品的光學(xué)性能，如透過(guò)率、反射率等，可以判斷產(chǎn)品的固化程度和均勻性。如果產(chǎn)品的光學(xué)性能不符合要求，可能表明固化過(guò)程存在問(wèn)題，需要進(jìn)一步優(yōu)化固化工藝。

紫外線固化實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)-Raman

• 實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)膠粘劑固化情況

• 確認(rèn)固化過(guò)程完成

• 機(jī)確定工藝改進(jìn)的速率常數(shù)

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