福立儀器拓展半導體行業(yè)應用方向

來源：浙江福立分析儀器股份有限公司      分類：應用方案 2024-07-18 18:15:04 32閱讀次數(shù)

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7月16日—7月19日，由中國科學院人事局資助、中國科學院上海硅酸鹽研究所主辦、上海無機非金屬材料分析測試專業(yè)平臺和上海材料與制造大型儀器區(qū)域中心協(xié)辦的“半導體材料與器件分析檢測技術(shù)”培訓班在上海舉辦。本次培訓旨在進一步加強半導體分析檢測技術(shù)高技能人才隊伍建設，使科技人員適應科學技術(shù)的發(fā)展，掌握該技術(shù)領域的新技能，新方法，開拓視野，提高科學實驗技能和實驗儀器的使用效能。

半導體行業(yè)專家、廈門大學特聘專家陳登云博士在會上不僅作了《電子特氣前沿分析技術(shù)》精彩報告，還展示了公司在半導體行業(yè)內(nèi)的解決方案，彰顯了福立在技術(shù)創(chuàng)新和服務方面的卓越實力。

01

技術(shù)交流 共享行業(yè)前沿

電子特氣是指用于生產(chǎn)顯示面板、半導體、光伏等電子產(chǎn)品的特種氣體,是特種氣體的一個重要分支,廣泛應用于刻蝕、薄膜、摻雜等工藝。在整個半導體行業(yè)的生產(chǎn)過程中，從芯片生產(chǎn)到最后器件的封裝，幾乎每一個環(huán)節(jié)都離不開電子特氣。

陳登云博士在報告中深入探討了電子特氣在半導體制造過程中的關鍵作用，以及如何通過先進的分析技術(shù)確保電子特氣的質(zhì)量和純度，從而保障半導體器件的性能和可靠性。

陳博士還詳細介紹了在電子特氣分析領域的最新研究成果和應用方案，包括智能高效的分析儀器、穩(wěn)定可靠的檢測方法、人性化數(shù)據(jù)處理工作站以及在線分析技術(shù)等，這些技術(shù)的應用極大地提高了電子特氣分析的效率和精度。

02

行業(yè)應用 保障產(chǎn)品品質(zhì)

伴隨IC芯片制程技術(shù)的不斷發(fā)展，產(chǎn)品的生產(chǎn)精度越來越高，用于集成電路制造的電子特氣亦提出了更高的純度要求。而電子特氣的純度主要受氣體提純技術(shù)、氣體檢測技術(shù)、氣體的儲存和運輸?shù)葞讉€方面的影響，所以這對分析檢測方法和儀器也有了更高的要求。采用先進的分析技術(shù)和儀器設備，能夠?qū)﹄娮犹貧庵械碾s質(zhì)進行高精度的檢測，確保氣體的超高品質(zhì)。

氣相改裝工程師改裝定制

閥系統(tǒng)

定制化系統(tǒng)氣相色譜

滿足電子特氣領域不同類型樣品分析

福立F80氣相色譜儀搭載氦離子化(PDHID)檢測器，每一種氣路系統(tǒng)的設計都基于背景氣，具有出色的痕量雜質(zhì)檢測能力，數(shù)據(jù)結(jié)果穩(wěn)定可靠。除此之外，針對不同分析樣品，福立專業(yè)系統(tǒng)氣相工程師能夠改裝制定多閥多柱色譜系統(tǒng)，滿足用戶定制化需求。

F80氣相色譜儀保留了GC97系列氣相色譜儀高穩(wěn)定性、耐用性，在智能化人機交互、精細化控制和安全保障等性能上全面提升，還新增了移動端遠程監(jiān)控功能，為客戶帶來更好的使用及維護體驗。

一氧化碳中H₂、O₂+Ar、N₂、CO²、CH₄分析

優(yōu)點：10min內(nèi)完成分析；閥切割，放空大部分CO；閥具備吹掃氣保護

二氧化碳中H₂ 、O₂+Ar 、N₂ 、CO、CH₄分析

優(yōu)點：10min內(nèi)完成分析；閥反吹技術(shù)，反吹放空CO2及H2O等組分；閥具備吹掃氣保護

氫氣中 O₂、N₂ 、CO、CO₂  、CH₄、C₂分析

優(yōu)點：多閥切割放空，放空大量H₂干擾；閥具備吹掃氣保護

氮氣中 H₂ 、O₂  、CO 、CO₂ 、 CH₄ 、 C₂分析

優(yōu)點：多閥切割放空，放空大量N₂干擾；閥具備吹掃氣保護

03

行業(yè)新趨勢 在線分析 

典型的半導體電子特氣具有高毒、高爆、反應活性大等特征，對于取樣、抗污染等技術(shù)提出了極高的要求。電子特氣的質(zhì)量控制技術(shù)越來越趨向無人化和在線化。最新推出多款在線色譜技術(shù)，不僅在精細化工、空分等行業(yè)得到廣泛應用，在強調(diào)安全性和智能化的基礎上，也進一步開拓半導體行業(yè)應用。

寫在最后

半導體產(chǎn)業(yè)是信息技術(shù)領域的基礎，幾乎所有的電子設備和系統(tǒng)都依賴于半導體技術(shù)，而半導體行業(yè)的生產(chǎn)與電子特氣息息相關。將繼續(xù)致力于技術(shù)創(chuàng)新，為半導體行業(yè)提供高品質(zhì)、高性能的分析儀器和整體應用解決方案，幫助客戶提升產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率，推動半導體行業(yè)的快速發(fā)展。

關于

浙江福立分析儀器有限公司成立于1998年，是一家專注于色譜質(zhì)譜研發(fā)、生產(chǎn)、銷售、服務的高新技術(shù)企業(yè)，是國家重點扶持的專精特新“小巨人”企業(yè)，也是國產(chǎn)色譜儀器領軍企業(yè)，公司擁有現(xiàn)代化的生產(chǎn)基地和省級企業(yè)研究院，致力于為客戶提供高效、精準、可靠的分析儀器和解決方案。

公司聚焦色譜近三十年，從色譜零部件到整機，全產(chǎn)業(yè)鏈的色譜研發(fā)布局，承擔并順利完成了科技部國家重大科學儀器專項，突破色譜關鍵技術(shù)，引領國產(chǎn)色譜技術(shù)發(fā)展邁入新的篇章。

2023年6月，蘇州納微科技股份有限公司（股票代碼：SH 688690）入股，攜手打造集色譜填料、分析儀器及整體解決方案于一體的色譜質(zhì)譜創(chuàng)新平臺，雙方戰(zhàn)略合作邁入全新階段，開啟色譜技術(shù)發(fā)展新征程。

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