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光學NanoGauge C13027-12
- 品牌：日本濱松
- 型號： C13027-12
- 產地：亞洲 日本
- 供應商報價：面議
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濱松光子學商貿（中國）有限公司
更新時間：2025-02-24 10:56:46 -
銷售范圍售全國
入駐年限第10年
營業執照已審核
- 同類產品膜厚測量系統(12件)
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產品特點
C13027型光學納米膜厚測量系統是一款利用光譜干涉法測量薄膜厚度的非接觸式測量系統。C13207不僅支持PLC連接，而且其設計尺寸比其他型號更緊湊，便于設備安裝。Optical Gauge系列不僅能夠測量10納米以下極薄薄膜的厚度，而且還具有超寬測量范圍，可以覆蓋從10納米到100微米的各種薄膜厚度。 Optical Gauge系列可以進行高達200 Hz的快速測量，因此非常適合高速生產線測量。
詳細介紹
- 詳細參數
型號 C13027-12 可測膜厚范圍（玻璃） 10 nm to 100 μm*1 測量可重復性（玻璃） 0.02 nm*2 *3 測量準確性（玻璃） ±0.4 %*3 *4 光源 Halogen light source 光斑尺寸 Approx. φ1 mm*3 工作距離 10 mm*3 可測層數 Max. 10 layers 分析 FFT analysis, Fitting analysis, Optical constant analysis, Color analysis 測量時間 3 ms/point*5 光纖連接頭 FC 外部控制功能 RS-232C, Ethernet 電源 AC100 V to AC240 V, 50 Hz/60 Hz 功耗 Approx. 80 VA 測量波長范圍 400 nm to 1100 nm
● 輸出信號
模擬輸出：0 V至10 V /高阻抗3通道（多達三層結構）
報警輸出：TTL /高阻抗1通道
警告輸出：TTL /高阻抗1通道
● 輸入信號
測量啟動信號：TTL /高阻抗1通道
*1 轉換時玻璃的折射率是1.5
*2 測量400 nm玻璃薄膜厚度時為標準偏差（公差）
*3 取決于光學系統或物鏡放大倍數
*4 測量保證范圍同VLSI標準測量保證文件一致
*5 最短曝光時間產品特性● 支持PLC連接
● 縮短循環時間（最大200 Hz）
● 可測量10nm極薄薄膜厚度
● 同時測量薄膜厚度與顏色
● 安裝所占空間大幅縮小（與C12562相比，安裝所占空間減少30%）
● 波長覆蓋范圍寬（400 nm - 1100 nm）
● 軟件中新增簡化測量法
● 可進行表面分析
● 非恒定膜層的精確測量
● 分析光學常數（n, k）
● 作圖功能
尺寸信息
技術資料
滬公網安備 31011502008050號