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光學NanoGauge C10178-02
- 品牌：日本濱松
- 型號： C10178-02
- 產地：亞洲 日本
- 供應商報價：面議
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濱松光子學商貿（中國）有限公司
更新時間：2025-02-24 10:56:46 -
銷售范圍售全國
入駐年限第10年
營業執照已審核
- 同類產品膜厚測量系統(12件)
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產品特點
C10178型光學納米膜厚測量系統是一款利用光譜干涉法測量薄膜厚度的非接觸式測量系統。光譜干涉法可以快速、高精度以及高靈敏度地測量出薄膜厚度。濱松的產品使用多通道光譜儀PMA作為檢測器，測量各種光學濾光片和涂膜厚度的同時還可以測量量子產率，反射率，透射/吸收率等參數。
C10178-02支持UV（200 nm至950 nm）。
詳細介紹
- 詳細參數
型號 C10178-02 可測膜厚范圍（玻璃） 20 nm to 30 μm*1 測量可重復性（玻璃） 0.02 nm*2 *3 測量準確性（玻璃） ±0.4 %*3 *4 光源 D2-Halogen light source 光斑尺寸 ?Approx. φ1 mm*3 工作距離 10 mm*3 可測層數 Max. 10 layers 分析 FFT analysis, Fitting analysis, Optical constant analysis 測量時間 19 ms/point*5 光纖連接頭 φ12 sleeve shape 外部控制功能 RS-232C, PIPE, Ethernet 電源 AC100 V to AC240 V, 50 Hz/60 Hz 功耗 Approx. 210 VA 測量波長范圍 200 nm to 950 nm 接口 USB 2.0 測量模式（特征） supports UV
*1 轉換時玻璃的折射率是1.5
*2 測量400 nm玻璃薄膜厚度時為標準偏差（公差）
*3 取決于光學系統或物鏡放大倍數
*4 測量保證范圍同VLSI標準測量保證文件一致
*5 最短曝光時間產品特性● 高速、高準確性（可測膜厚范圍（玻璃）：20 nm-30μm）
● 實時測量
●? 非恒定膜層的精確測量
● 分析光學常量(n, k)
● 可外部控制
● 可以使用特定附件測量量子產率，反射率，透射率和吸收率
外形尺寸（單位：mm）
技術資料
滬公網安備 31011502008050號