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光學NanoGauge C10323-02

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產品特點


C10323型光學納米膜厚測量系統是一款微觀厚度測量系統。 在宏觀層面上無法測量具有不規則表面的物體,因為這些物體會產生高強度的散射光。 對于這些類型的物體,測量小面積可減少散射光,從而實現測量。



C10323-02的電源電壓為AC100 V至AC120 V。


詳細介紹

詳細參數
型號 C10323-02
可測膜厚范圍(玻璃) 20 nm to 50 μm①
測量可重復性(玻璃) 0.02 nm②
測量準確性(玻璃) ±0.4 %③
光源 Halogen light source
光斑尺寸 φ8 μm to φ80 μm④
工作距離 Refer to objective lens list
可測層數 Max. 10 layers
分析 FFT analysis, Fitting analysis, Optical constant analysis
外部控制功能 RS-232C, PIPE, Ethernet
電源 AC100 V to AC120 V , 50 Hz/60 Hz
功耗 Approx. 250 VA
測量波長范圍 400 nm to 1100 nm
接口 USB 2.0

*1:轉換時玻璃的折射率是1.5

*2:測量400 nm玻璃薄膜厚度時為標準偏差(公差)

*3:取決于光學系統或物鏡放大倍數

*4:測量保證范圍同VLSI標準測量保證文件一致

產品特性

● 可在微觀層面進行測量


● 高速、高準確度


● 分析光學常量(n, k)


● 可外部控制

外形尺寸(單位:mm)


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