三維激光直寫的優勢
掃 碼 分 享
三維激光直寫光刻機是一種用于物理學、信息科學與系統科學、材料科學、機械工程領域的儀器，于2012年12月24日啟用。
三維激光直寫采用高功率LED（λ：405nm）光源和全自動對焦、對準技術，長壽命、低功耗。采用專 利技術的LED固體光源和高精密光柵尺定位工作平臺，可實現0.65um的亞微米分辨率光刻及0.6um的套刻精度。
三維激光直寫主要功能：該設備是基于空間光調制器的直寫光刻設備，用于制作光刻掩膜。
直寫前預檢查：軟件可以實時顯微觀測基體表面，并顯示預直寫圖形位置。通過調整位置、角度，直到設計圖形按要求與已有結構重合，保證直寫準確。
三維激光直寫的優勢：
無需掩模，可實現納米級精度的三維加工
自主研發的超高速加工方式，便于工業應用
擁有極小的拼接誤差
適用高達12英寸的基材
全自動控制系統
相關產品
全部評論(0條)
推薦閱讀
版權與免責聲明
①本文由儀器網入駐的作者或注冊的會員撰寫并發布，觀點僅代表作者本人，不代表儀器網立場。若內容侵犯到您的合法權益，請及時告訴,我們立即通知作者，并馬上刪除。
②凡本網注明"來源：儀器網"的所有作品，版權均屬于儀器網，轉載時須經本網同意，并請注明儀器網(www.shangjinews.cn)。
③本網轉載并注明來源的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網贊同其觀點或證實其內容的真實性，不承擔此類作品侵權行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網站或個人從本網轉載時，必須保留本網注明的作品來源，并自負版權等法律責任。
④若本站內容侵犯到您的合法權益，請及時告訴,我們馬上修改或刪除。郵箱：hezou_yiqi
更多
最新話題
最新文章
- 雨量實時監測系統—指導農民合理安排灌溉和排水，優化種植計劃
- 翻斗式雨量監測站—實時測量降雨量，精度可達毫米級
- GNSS形變監測系統—實現多參數聯合監測，提高災害預警的準確性
- GNSS邊坡監測系統—系統提前發出橙色和紅色預警，及時組織撤離，避免了人員傷亡
- 山體滑坡監測預警系統—高精度、實時性和自動化特點，成為地質災害防治的重要技術手段
- 智慧河道水位流量監測系統——以科技之名，打造水位雨量流速流量監測儀
- 水源地水質監測系統——水位雨量流速流量監測儀：守護水域的 “數字衛士”
- 水位在線自動監測監測系統——水位雨量流速流量監測儀：開啟精準監測新篇章
- 智慧河道水位流量監測系統——用監測儀，丈量水位雨量流速流量的 “脈搏”
- 河道水位雨量監測系統——水位雨量流速流量監測儀：水文監測的智慧之眼
作者榜
杭州易造科技有限公司
滬公網安備 31011502008050號
參與評論
登錄后參與評論