激光刻蝕機
實際上狹義理解就是光刻腐蝕，先通過光刻將光刻膠進行光刻曝光處理，然后通過其它方式實現腐蝕處理掉所需除去的部分。廣義上來講，刻蝕成了通過溶液、反應離子或其它機械方式來剝離、去除材料的一種統稱，成為微加工制造的一種普適叫法。刻蝕最簡單最常用分類是：干法刻蝕和濕法刻蝕。它們的區別就在于濕法使用溶劑或溶液來進行刻蝕。
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激光刻蝕機產品列表
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小型臺式無掩膜光刻系統
- 品牌：英國Durham Magneto Optic
- 型號：Microwriter ML3
- 產地：歐洲 英國
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昊量/auniontech DMD無掩膜光刻機超高分辨率 時間相關單光子計數模塊(TCSPC)
- 品牌：昊量/auniontech
- 型號：(TCSPC)
- 產地：上海 徐匯區
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紫外曝光機/光刻機
- 品牌：德國suss
- 型號：MJB4
- 產地：歐洲 德國
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昊量/auniontech DMD無掩膜光刻機
- 品牌：昊量/auniontech
- 型號：DMD
- 產地：上海 徐匯區
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雙光子聚合激光直寫3D納米光刻機
- 品牌：昊量/auniontech
- 型號：MicroFAB
- 產地：上海 徐匯區
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多光子聚合3D納米光刻機
- 品牌：昊量/auniontech
- 型號：3D
- 產地：上海 徐匯區
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全自動光刻機
- 品牌：韓國MIDAS
- 型號：MDA-12SA
- 產地：亞洲 韓國
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半自動光刻機
- 品牌：韓國MIDAS
- 型號：MDA-400M, MDA-60MS
- 產地：亞洲 韓國
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無掩膜光刻機 激光直寫系統
- 品牌：韓國MIDAS
- 型號：MLW-100
- 產地：亞洲 韓國
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桌面臺式無掩模光刻系統 電動 PALET DDB-701-DL
- 品牌：筱曉光子
- 型號：DDB-701-DL
- 產地：上海 黃浦區
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桌面臺式無掩模光刻系統 手動 PALET DDB-701-MS 筱曉光子
- 品牌：筱曉光子
- 型號：DDB-701-MS
- 產地：上海 黃浦區
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無掩膜數字光刻機 MCML-110A
- 品牌：筱曉光子
- 型號：MCML-110A
- 產地：上海 黃浦區
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無掩膜數字光刻機 MCML-120A
- 品牌：筱曉光子
- 型號：MCML-120A
- 產地：上海 黃浦區
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OAI - 光刻機
- 品牌：美國OAI
- 型號：OAI - Mask Aligners & Exposure
- 產地：美洲 美國
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Nanoscribe無掩膜光刻機Quantum X shape
- 品牌：nanoscribe
- 型號：Quantum X shape
- 產地：歐洲 德國
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Nanoscribe Quantum X align對準雙光子光刻系統
- 品牌：nanoscribe
- 型號：Quantum X align
- 產地：歐洲 德國
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Nanoscribe Photonic Professional GT2雙光子無掩模光刻系統
- 品牌：nanoscribe
- 型號：Photonic Professional GT2
- 產地：歐洲 德國
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德國Heidelberg MLA 150 激光光刻機
- 品牌：德國海德堡
- 型號：MLA 150
- 產地：歐洲 德國
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德國Heidelberg MLA 100 激光光刻機
- 品牌：德國海德堡
- 型號：MLA 100
- 產地：歐洲 德國
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德國海德堡VPG 1600 型大尺寸掩膜版光刻機
- 品牌：德國海德堡
- 型號：VPG 1600
- 產地：歐洲 德國
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德國海德堡掩膜版光刻機VPG+ 800/1100/1400
- 品牌：德國海德堡
- 型號：VPG+ 800/1100/1400
- 產地：歐洲 德國
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海德堡掩膜版光刻機 VPG+ 200/400
- 品牌：德國海德堡
- 型號：VPG+ 200/400
- 產地：歐洲 德國
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EVG770 NT分步重復納米壓印光刻機
- 品牌：EVG
- 型號：EVG770
- 產地：歐洲 奧地利
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EVG620 NT掩模對準光刻機系統
- 品牌：EVG
- 型號：EVG620
- 產地：歐洲 奧地利
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HERCULES量產型光刻機系統
- 品牌：EVG
- 型號：HERCULES
- 產地：歐洲 奧地利
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EVG7300多功能紫外納米壓印光刻系統
- 品牌：EVG
- 型號：EVG7300
- 產地：歐洲 奧地利
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EVG6200 NT掩模對準光刻系統
- 品牌：EVG
- 型號：EVG6200 NT
- 產地：歐洲 奧地利
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SPS 光刻機 POLOS μ
- 品牌：德國SPS-保羅
- 型號：POLOS μ
- 產地：歐洲 德國
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EVG單面/雙面掩模對準光刻機EVG610
- 品牌：EVG
- 型號：EVG610
- 產地：歐洲 奧地利
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￥1500000 -
JBX-8100FS 圓形電子束光刻系統
- 品牌：日本電子
- 型號：JBX-8100FS
- 產地：亞洲 日本
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POLOS? BEAM桌面無掩模光刻機
- 品牌：德國SPS-保羅
- 型號：BEAM
- 產地：歐洲 德國
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上海伯東氦質譜檢漏儀光刻機檢漏 ASM 310
- 品牌：普發真空
- 型號： ASM 310
- 產地：歐洲 德國
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JBX-6300FS 電子束光刻系統
- 品牌：日本電子
- 型號：JBX-6300FS
- 產地：亞洲 日本
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JBX-9500FS 電子束光刻系統
- 品牌：日本電子
- 型號：JBX-9500FS
- 產地：亞洲 日本
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JBX-3200MV 電子束光刻系統
- 品牌：日本電子
- 型號：JBX-3200MV
- 產地：亞洲 日本
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