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上海伯東大口徑射頻離子源 RFICP 380

品牌：美國KRI
型號： RFICP 380
產地：美洲美國
供應商報價：面議

伯東企業（上海）有限公司更新時間：2024-07-17 15:03:36

銷售范圍售全國

入駐年限第10年

營業執照已審核

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產品特點

上海伯東美國 KRi 大口徑射頻離子源 RFICP 380, 3層柵極設計, 柵極口徑 38cm, 提供離子動能 100-1200eV 寬束離子束, m a x離子束流 > 1000mA, 滿足 300 mm (12英寸)晶圓應用.

KRi 射頻離子源 RFICP 380 特性
1. 放電腔 Discharge Chamber, 無需電離燈絲, 通過射頻技術提供高密度離子, 工藝時間更長. 2kW & 1.8 MHz, 射頻自動匹配
2. 離子源結構模塊化設計
3. 離子光學, 自對準技術, 準直光束設計, 自動調節技術保障柵極的使用壽命和可重復的工藝運行
4. 全自動控制器
5. 離子束動能 100-1200eV
6. 柵極口徑 38cm, 滿足 300 mm (12英寸)晶圓應用

詳細介紹

因產品配置不同, 價格貨期需要電議, 圖片僅供參考, 一切以實際成交合同為準

大口徑射頻離子源 RFICP 380
上海伯東美國 KRi 大口徑射頻離子源 RFICP 380, 3層柵極設計, 柵極口徑 38cm, 提供離子動能 100-1200eV 寬束離子束, 最/大離子束流 > 1000mA, 滿足 300 mm (12英寸)晶圓應用. 廣泛應用于離子束刻蝕機.

KRi 射頻離子源 RFICP 380 特性
1. 放電腔 Discharge Chamber, 無需電離燈絲, 通過射頻技術提供高密度離子, 工藝時間更長. 2kW & 1.8 MHz, 射頻自動匹配
2. 離子源結構模塊化設計
3. 離子光學, 自對準技術, 準直光束設計, 自動調節技術保障柵極的使用壽命和可重復的工藝運行
4. 全自動控制器
5. 離子束動能 100-1200eV
6. 柵極口徑 38cm, 滿足 300 mm (12英寸)晶圓應用

射頻離子源 RFICP 380 技術規格:

陽極	電感耦合等離子體 2kW & 1.8 MHz 射頻自動匹配
最/大陽極功率	>1kW
最/大離子束流	> 1000mA
電壓范圍	100-1500V
離子束動能	100-1200eV
氣體	Ar, O2, N2,其他
流量	5-50sccm
壓力	< 0.5mTorr
離子光學, 自對準	OptiBeamTM
離子束柵極	38cm Φ
柵極材質	鉬
離子束流形狀	平行,聚焦,散射
中和器	LFN 2000
高度	38.1 cm
直徑	58.2 cm
鎖緊安裝法蘭	12”CF

射頻離子源 RFICP 380 基本尺寸:

上海伯東美國考夫曼 KRI 大口徑射頻離子源 RFICP 220, RFICP 380 成功應用于 12英寸和 8英寸磁存儲器刻蝕機, 8英寸量產型金屬刻蝕機中, 實現 8英寸 IC 制造中的 Al, W 刻蝕工藝, 適用于 IC, 微電子,光電子, MEMS 等領域.

作為蝕刻機的核心部件, KRI 射頻離子源提供大尺寸, 高能量, 低濃度的離子束, 接受客戶定制, 單次工藝時間更長, 滿足各種材料刻蝕需求!
射頻離子源 RFICP 380

若您需要進一步的了解詳細信息或討論, 請參考以下聯絡方式:

上海伯東: 羅先生                               臺灣伯東: 王女士
T: +86-21-5046-1322                 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076                   M: +886-939-653-958
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