對于材料和加工工業中廣泛使用的紙制品、樹脂產品、金屬鍍膜等，表面形貌和表面粗糙度測量在防止故障或質量控制中起重要作用。尤其，當多層薄膜出現不良產品時，需要確定是表面，界面或是層內哪個部位出現了問題。在大多數情況下，是進行切割以確定異常部位。但是，某些樣品是不能進行切割的，無損檢測就變得極為重要。納米尺度3D光學干涉測量系統VS1800，可同時滿足上述高精度的表面形貌測量及對多層膜的無損測量，在材料和加工工業中實現了廣泛的應用。

下面就以兩個實例來對多層膜無損測量分析的功能進行介紹。

1.透明樣品：金屬鍍膜分析

       以下是對金屬透明鍍膜進行無損測量分析的一個實例，從分析數據中可以得到表面，界面三維形貌，以及厚度分布的三維圖像，對于大范圍的面分析以及厚度參差不齊有一個更為直觀和清晰的認識。

2.不透明樣品：名片印字部分分析

       以下是對名片印字部分進行無損測量分析的一個實例，從分析數據中可以得到表面三維形貌，并且可以觀察到碳粉和紙之間的分界面，從而可以測量碳粉的厚度，如圖所以，紅色部分碳粉的厚度為2.6?。

       綜上所述，使用日立納米尺度3D測量系統，針對透明、半透明樣品甚至某些特殊的不透明樣品，嘗試內部結構的無損測量，得到多層結構每層厚度、內部缺陷、每層界面粗糙程度等等信息。為相關領域客戶提供了一個快速簡便的解決方案。

前言：確定關鍵部件的表面質量，即與預期形狀的偏差，無論是平面還是球面等，是高精度制造的關鍵。當光束照射到有疵病的光學元件表面時, 會產生雜散光。在光學系統中, 影響其性能的主要原因是由系統內部產生的大量散射光造成的, 即使整個光學系統設計得再好, 如果內部光學元件的質量不過關, 那么構成的系統也不能正常工作。

干涉儀測量方法

傳統的檢測方法由干涉儀組成，例如Twyman-Green干涉儀（如下圖所示），將測試光與參考光學進行比較。干涉儀的兩個臂之間的光程差會在光電探測器的光屏上形成干涉條紋（通常為CCD陣列）。在參考光和測試光之間引入小的傾斜度會產生干涉圖樣，其中與均勻間隔的直線條紋的任何偏差都意味著測試組件中的像差，如下所示。

雖然許多移相干涉儀都使用HeNe激光器作為光源，但使用外腔可調諧激光器（例如Newport的TLB-6700）卻具有明顯的優勢。首先，當光學元件鍍有對633 nm的抗反膜時，可選擇與光學元件的工作波長完全匹配的光。其次，通過不平衡的兩臂和改變激光波長可以實現時變相移，從而無需線性驅動器對參考光進行平移。

Newport可調諧激光器

Newport的TLB-6700系列可調諧激光器，調諧速度快，范圍寬-Z高達 100 nm，調諧波長范圍可從407-2450nm。除以上提及應用也可以用作諸如微腔諧振器和原子光譜等方面。

具有非常zhuo越的特性：

·可保證在整個指定的波長范圍內實現單模、無跳模調諧。

·電動和壓電控制可實現寬范圍掃描和微調

·低噪聲，窄線寬--是市面上ECDL激光器中線寬Z窄的·集成的光纖耦合

可選型號：

3D光學輪廓儀的特點以及應用

        3D光學輪廓儀常用于測定樣品中被測區域的表面粗糙情況與輪廓形貌。本文以美國KLA公司提供的一款3D光學輪廓儀為例，讓我們來了解一下吧。

產品特點：

   光學輪廓儀對各種產品，部件和材料的表面輪廓，粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

應用：
   傳統的機械零件由于受加工設備的限制，對精度包括平面度，粗糙度的要求常規下停留在微米量級。但隨著技術發展，人們對機械零件的加工精度要求開始向納米量級邁進，設備加工精度的提高帶動檢測技術的發展，傳統的檢測手段包括接觸式和2D方式的檢測方法對檢測納米量級精度的機械零件有很大的局限性。
   光學輪廓儀Z初應用在光學加工行業時，其3D、高速、精密、可靠和穩定，開始引起加工人士的注意并開始應用。3D光學輪廓儀已在汽車發動機噴油嘴、半導體切割刀具、人工關節制造、量塊標定等方面有大量的應用。一些特定功能如平面度、粗糙度、直線度和高度差等在機械加工檢測中呈現出新的應用。
   北京中海遠創材料科技有限公司提供的Profilm3D光學輪廓儀讓光學輪廓測量價格更為實惠，使用了目前先進的垂直掃描干涉 (VSI) 結合高極ng確度相移干涉 (PSI) 測量，以前所未見的價格使得表面形貌研究進入次納米等級。咨詢電話：18604053809

3D光學輪廓儀的特點以及應用

        3D光學輪廓儀常用于測定樣品中被測區域的表面粗糙情況與輪廓形貌。本文以優尼康科技有限公司提供的一款3D光學輪廓儀為例，讓我們來了解一下吧。

產品特點：

   光學輪廓儀對各種產品，部件和材料的表面輪廓，粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

應用：
   傳統的機械零件由于受加工設備的限制，對精度包括平面度，粗糙度的要求常規下停留在微米量級。但隨著技術發展，人們對機械零件的加工精度要求開始向納米量級邁進，設備加工精度的提高帶動檢測技術的發展，傳統的檢測手段包括接觸式和2D方式的檢測方法對檢測納米量級精度的機械零件有很大的局限性。
   光學輪廓儀Z初應用在光學加工行業時，其3D、高速、精密、可靠和穩定，開始引起加工人士的注意并開始應用。3D光學輪廓儀已在汽車發動機噴油嘴、半導體切割刀具、人工關節制造、量塊標定等方面有大量的應用。一些特定功能如平面度、粗糙度、直線度和高度差等在機械加工檢測中呈現出新的應用。
   優尼康科技有限公司提供的Profilm3D光學輪廓儀讓光學輪廓測量價格更為實惠，使用了目前先進的垂直掃描干涉 (VSI) 結合高精確度相移干涉 (PSI) 測量，以前所未見的價格使得表面形貌研究進入次納米等級。

白光干涉測厚儀怎么測量

白光干涉測厚儀作為一種高精度的表面測量工具，廣泛應用于材料科學、電子制造、光學檢測等領域。其核心原理是利用干涉效應來測量薄膜或涂層的厚度。通過白光干涉技術，能夠在不接觸表面的情況下，精確測量不同厚度的薄膜層，尤其適用于高精度、微小尺寸的測量任務。本文將詳細介紹白光干涉測厚儀的工作原理、測量步驟及其應用范圍，幫助讀者深入理解這一技術的優勢與實際操作方法。

白光干涉測厚儀的工作原理

白光干涉測厚儀利用的是光的干涉現象。當白光照射到待測物體的表面時，光線會發生反射，部分光線從物體的上表面反射，部分光線從物體的底部反射。當這兩束反射光重合時，因波長差異產生干涉。通過分析干涉條紋的變化，可以精確計算出物體表面與底層之間的厚度。其優點在于白光干涉測量可以在不接觸物體的情況下進行，并且具有非常高的精度，適合微米級甚至納米級的薄膜厚度測量。

白光干涉測厚儀的測量步驟

1. 準備工作：確保白光干涉測厚儀的光源和探測器正常工作，并進行設備的校準，以確保測量結果的準確性。

2. 樣品放置：將待測物體穩固地放置在儀器的測量平臺上，確保樣品表面平整，避免因表面不規則導致測量誤差。

3. 光源照射：儀器發出寬譜的白光照射到樣品表面。待測物體的上表面和底部表面會分別反射光線。

4. 干涉條紋分析：通過儀器內的探測器接收反射回來的光信號，并進行干涉條紋的分析。干涉條紋的變化與待測物體的厚度成正比。

5. 厚度計算：系統會根據干涉條紋的變化，通過計算分析，輸出樣品的厚度數據。此時，儀器已經完成了整個測量過程。

白光干涉測厚儀的應用

白光干涉測厚儀廣泛應用于各個領域，特別是在半導體、光學薄膜、涂層和納米技術領域。其優勢在于能夠提供非接觸、高精度的測量，避免了傳統接觸式測量可能帶來的表面損傷。由于其高分辨率，能夠滿足不同精度需求的測量任務，特別是在要求薄膜厚度非常精確的場合，如光學元件的制造、電子器件的測試等。

專業總結

白光干涉測厚儀憑借其無接觸、高精度的特點，成為了測量薄膜厚度的理想工具。通過干涉效應，儀器能夠提供精確的厚度數據，廣泛應用于科研、工業制造等多個領域。其操作流程簡便、測量精度高，尤其適合微米至納米級別的薄膜測量需求，是現代科技領域中不可或缺的高精度測量設備。