MDP少子壽命測試儀 | 摻雜樣品的光導率測量
B（硼）和P（磷）的摻雜被用于微電子工業的許多應用，但是到目前為止，還沒有一種方法可以在不接觸樣品并由于必要的退火步驟而改變其特性的情況下檢查這些摻雜的均勻性。到目前為止的困難是，摻雜區域通常只有幾微米的深度，而且摻雜的劑量非常低。MDP能夠以高的分辨率來描述這些摻雜的樣品，并能很好地區分不同的摻雜劑量。
在這種情況下，光導率或信號高度是檢測摻雜物中不均勻性的敏感的參數。它在很大程度上取決于電阻率和少數載流子壽命本身。
在MDPmap和MDPingot設備中，可以集成4個不同波長的激光器。此外，還可以用不同的脈沖長度進行測量，從只有100ns的非常短的脈沖，即沒有載流子擴散發生，到幾個ms的脈沖長度，即載流子擴散到樣品的深度。因此，通過改變激光波長和脈沖長度，有可能以不同的滲透深度進行測量。
圖1：摻雜深度為2微米的P型摻雜劑
圖2：不同P型摻雜濃度下的樣品的光導率測量
在這種情況下，我們選擇了脈沖長度為100ns的660nm激光器；因此，實現了大約4μm的穿透深度。圖1顯示了測量的Cz-Si樣品中摻雜的P型摻雜劑，圖2顯示了如何通過光導率測量來區分不同的摻雜濃度。
全部評論(0條)
推薦閱讀
-
- 應用分享｜少子壽命測試儀(MDP)針對碳化硅器件性能優化的關鍵作用
- 在微電子半導體行業日新月異的現狀，材料質量的提升與器件性能的優化成為推動技術進步的關鍵因素。碳化硅（SiC）作為一種新興的高性能半導體材料，以其優異的導熱性、高擊穿電場強度及耐高溫特性，在電力電子、新
-
- 半導體 | 摻雜工藝
- 摻雜是控制半導體材料導電性、導電類型的重要步驟。
①本文由儀器網入駐的作者或注冊的會員撰寫并發布，觀點僅代表作者本人，不代表儀器網立場。若內容侵犯到您的合法權益，請及時告訴,我們立即通知作者，并馬上刪除。
②凡本網注明"來源：儀器網"的所有作品，版權均屬于儀器網，轉載時須經本網同意，并請注明儀器網(www.shangjinews.cn)。
③本網轉載并注明來源的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網贊同其觀點或證實其內容的真實性，不承擔此類作品侵權行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網站或個人從本網轉載時，必須保留本網注明的作品來源，并自負版權等法律責任。
④若本站內容侵犯到您的合法權益，請及時告訴,我們馬上修改或刪除。郵箱：hezou_yiqi
最新話題
最新文章
- 雨量實時監測系統—指導農民合理安排灌溉和排水，優化種植計劃
- 翻斗式雨量監測站—實時測量降雨量，精度可達毫米級
- GNSS形變監測系統—實現多參數聯合監測，提高災害預警的準確性
- GNSS邊坡監測系統—系統提前發出橙色和紅色預警，及時組織撤離，避免了人員傷亡
- 山體滑坡監測預警系統—高精度、實時性和自動化特點，成為地質災害防治的重要技術手段
- 智慧河道水位流量監測系統——以科技之名，打造水位雨量流速流量監測儀
- 水源地水質監測系統——水位雨量流速流量監測儀：守護水域的 “數字衛士”
- 水位在線自動監測監測系統——水位雨量流速流量監測儀：開啟精準監測新篇章
- 智慧河道水位流量監測系統——用監測儀，丈量水位雨量流速流量的 “脈搏”
- 河道水位雨量監測系統——水位雨量流速流量監測儀：水文監測的智慧之眼
作者榜
杭州易造科技有限公司
滬公網安備 31011502008050號
參與評論
登錄后參與評論