憑借其可配置的大容量腔室，手動(dòng)加載的EcoCoat硅烷氣相沉積系統(tǒng)旨在滿足您的工藝開發(fā)和批量生產(chǎn)要求。 三條獨(dú)立的蒸汽輸送管線，出色的熱均勻性和原位氣體等離子體為系統(tǒng)提供了工藝靈活性，同時(shí)為晶圓，載玻片或熱塑性表面保持了優(yōu)異的硅烷單層沉積均勻性。

?表面改性以促進(jìn)/防止粘附

?用于NIL，MEMS，AR/VR的防粘膜

?生物分子與玻璃，塑料或硅的共價(jià)鍵合

?等離子清潔和活化表面，控制疏水性

靈活的化學(xué)蒸汽輸送系統(tǒng)可與多種有機(jī)硅烷兼容。 可以使用小型測(cè)試瓶或大型安瓿瓶，從而實(shí)現(xiàn)從研究到低成本的大批量生產(chǎn)的過渡。 三個(gè)獨(dú)立的蒸汽輸送管線可容納多種前體或水，以實(shí)現(xiàn)表面水合，從而實(shí)現(xiàn)ZJ的硅烷與底物的結(jié)合。 集成的等離子體功能通過三個(gè)獨(dú)立的MFC控制的過程氣體輸入來實(shí)現(xiàn)。 靈活的腔室擱板/電極允許從晶片（200/300 mm）到載玻片和3D熱塑設(shè)備使用各種各樣的基板形狀因子。

技術(shù)參數(shù)

射頻等離子體頻率/功率：40 kHz，100-1000瓦
工作溫度：環(huán)境溫度205°C
溫度均勻度：穩(wěn)定后±1.5％
腔室壓力控制：100 mT-100 T
化學(xué)用量：0.1 – 3.0 mL（典型過程）
化學(xué)分配量：增加0.1 mL
化學(xué)物數(shù)量：最多三種
排氣量：平均10 SCF運(yùn)行
箱體材質(zhì)：316L不銹鋼
腔室尺寸：40.6厘米（寬）x 46厘米（深）x 40.6厘米（高）（16“ x 18” x 16“）
系統(tǒng)整體尺寸：116厘米（寬）x 98.4厘米（深）x 112.73厘米（高）（46英寸x 38.75英寸x 44.38英寸）燈塔增加了30厘米
裝載：12個(gè)可移動(dòng)的不銹鋼架子可實(shí)現(xiàn)靈活的基板裝載和多種等離子體操作模式，包括有源，下游，RIE和離子阱
晶圓容量：8盒100毫米-150毫米晶圓/ 2盒200毫米晶圓/ 1盒300毫米晶圓
滑軌容量：使用定制機(jī)架最多可容納2,000個(gè)
蒸汽輸送線：三條，具有獨(dú)立的過程和溫度控制