氣相沉積系統

是半導體工業中應用最為廣泛的用來沉積多種材料的技術，包括大范圍的絕緣材料，大多數金屬材料和金屬合金材料。是傳統的制備薄膜的技術，其原理是利用氣態的先驅反應物，通過原子、分子間化學反應，使得氣態前驅體中的某些成分分解，而在基體上形成薄膜。包括常壓化學氣相沉積、等離子體輔助化學沉積、激光輔助化學沉積、金屬有機化合物沉積等。

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氣相沉積系統產品列表

1700度高真空CVD化學氣相沉積系統
- 品牌：河南諾巴迪
- 型號：NBD-T1700-80TIG2Z
- 產地：河南鄭州
超高真空多腔室物理氣相沉積系統
- 品牌：美國PVD
- 型號：4000
- 產地：美洲美國
等離子體增強化學氣相沉積系統
- 品牌：美國PVD
- 型號：G 4000
- 產地：美洲美國
微波等離子化學氣相沉積系統-MPCVD
- 品牌：iplas
- 型號：iplas CYRANNUS
- 產地：歐洲德國
微波等離子化學氣相沉積系統
- 品牌：iplas
- 型號：CYRANNUS
- 產地：歐洲德國
PECVD設備 NPE-4000(ICPA)自動ICPECVD等離子體化學氣相沉積系統那諾-馬斯特
- 品牌：美國那諾-馬斯特
- 型號：NPE-4000（ICPA）
- 產地：美洲美國
CVD設備微波等離子化學氣相沉積系統那諾-馬斯特
- 品牌：美國那諾-馬斯特
- 型號：PECVD
- 產地：美洲美國
YES-EcoCoat硅烷單層氣相沉積系統
- 品牌：美國YES
- 型號：YES-EcoCoat
- 產地：美洲美國
德國IPLAS 微波等離子化學氣相沉積系統CYRANNUS
- 品牌：德國iplas
- 型號：iplas 微波等離子化學氣相沉積系統
- 產地：歐洲德國
美NANO-MASTER的等離子增強化學氣相沉積系統PECVD系統NPE-4000
- 品牌：美國Nano-Master
- 型號：NPE-4000,NRP-4000,NSP-4000
- 產地：美洲美國
PECVD鍍膜設備 NPE-3500 PECVD等離子體化學氣相沉積系統那諾-馬斯特
- 品牌：美國那諾-馬斯特
- 型號：NPE-3500
- 產地：美洲美國
PECVD設備 NPE-4000（ICPM）ICPECVD等離子體化學氣相沉積系統那諾-馬斯特
- 品牌：美國那諾-馬斯特
- 型號：NPE-4000（ICPM）
- 產地：美洲美國
法國Plassys微波等離子體化學氣相沉積系統 SSDR 150
- 品牌：法國Plassys
- 型號：SSDR 150
- 產地：歐洲法國
上海微行PECVD型等離子增強化學氣相沉積系統
- 品牌：上海微行爐業
- 型號：PECVD型等離子增強化學氣相沉積系統
- 產地：江蘇蘇州
等離子體增強化學氣相沉積系統
- 品牌：河南諾巴迪
- 型號：NBD-PECVD1200-80TID2ZY
- 產地：河南鄭州
NPE-3500 PECVD等離子體化學氣相沉積系統
- 品牌：美國Nano-Master
- 型號：NPE-3500PECVD
- 產地：美洲美國
快速熱化學氣相沉積系統(RTCVD)
- 品牌：韓國ECOPIA
- 型號：RTCVD
- 產地：亞洲韓國
低壓化學氣相沉積系統(LPCVD)
- 品牌：韓國ECOPIA
- 型號：LC-100, LC-102
- 產地：亞洲韓國