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Femto Science 等離子清洗機 表面處理設備 CUTE

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產品特點

CUTE系列等離子清洗機來自韓國Femto Science公司,是一款無損傷的等離子體處理表面處理系統,其獨特的設計保證了高度穩定和均勻輝光放電等離子體產生,可應用于微流控、組織工程、石墨烯、2D材料等納米科學以及微電子領域,適用于諸多材料表面清潔、疏水性增強、層間粘附、刻蝕等操作,標配一路自動氣體流量計,可實現對工藝氣體的精確控制。
CUTE系列等離子清洗機,其艙體采用鋁合金制作,堅固耐用且抗腐蝕,其艙體自帶顯示屏,配合顯示屏下方的操作按鈕,使用簡單,方便快捷。

詳細介紹


Femto Science 等離子清洗機 表面處理設備 CUTE

圖片

1 550.jpg

簡介

CUTE系列等離子清洗機來自韓國Femto Science公司,是一款無損傷的等離子體處理表面處理系統,其獨特的設計保證了高度穩定和均勻輝光放電等離子體產生,可應用于微流控、組織工程、石墨烯、2D材料等納米科學以及微電子領域,適用于諸多材料表面清潔、疏水性增強、層間粘附、刻蝕等操作,標配一路自動氣體流量計,可實現對工藝氣體的精確控制。

CUTE系列等離子清洗機,其艙體采用鋁合金制作,堅固耐用且抗腐蝕,其艙體自帶顯示屏,配合顯示屏下方的操作按鈕,使用簡單,方便快捷。


規格參數

項目

參數

艙體材質

鋁合金

艙體內部尺寸

140mm x 200mm x 110mm

電源頻率

20~100kHz

電源功率

最 大100W 可自由調節

標準氣體輸入

1 x 氣路

額外氣體輸入

2 x 空管道可供升級

氣體流速控制

MFC自動控制

最 大流速

100sccm

氣體流速控制精度

滿量程的1%

真空泵抽氣速率

80L/min

最小真空

1 x 10-3 Torr

真空測量范圍

大氣壓 ~ 5 x 10-5 Torr

顯示

彩色觸摸屏,圖形化控制界面

操作員分級

2級操作人員分級

程序

可進行半自動控制和全自動編程控制

參數存儲

最 大10組工藝參數儲存,每組工藝包含最多10個工藝步驟

功能圖解

2 550.jpg

3 600.jpg

應用系統

PDMS芯片制作

石墨烯,2D材料表面處理

Bio-MEMS

組織工程

食品科學

 



技術資料

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