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Diener FEMTO 微波等離子清洗機(jī)

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詳細(xì)介紹

德國(guó)Diener electronic成立于1993年,是世界低溫等離子工業(yè)的,是一家專門研發(fā)和制造低溫低壓等離子清洗機(jī)、等離子射頻電源和大氣(常壓)等離子清洗機(jī)的高科技企業(yè)。
用途:
Diener等離子清洗機(jī)可用于清洗、刻蝕、磨砂和表面準(zhǔn)備等。可選擇40KHz、13.56MHz和2.45GHz三種射頻發(fā)生器,以適應(yīng)不同的清洗效率和清洗效果需要。
Diener等離子清洗/刻蝕機(jī)具有成本低廉、操作靈活的特點(diǎn),主要適合于高科技生產(chǎn)單位的以下場(chǎng)合:
半導(dǎo)體開發(fā)、集成電路開發(fā)、真空電子行業(yè)、生命科學(xué)實(shí)驗(yàn)等等。
Diener等離子清洗/刻蝕機(jī)具有以下特點(diǎn):
可以更靈活地操作,簡(jiǎn)便地改變處理氣體的種類和處理程序;不會(huì)對(duì)操作人員的身體造成任何傷害;其成本對(duì)于等離子處理方法來說是微不足道的。

Femto A

Femto C

Femto D

Femto B

Femto E

應(yīng)用:
表面清潔
(e.g. before bonding, soldering or gluing)
表面活化
(e.g. before printing, varnishing or gluing)
表面蝕刻
(e.g. microstructuring of silicon or etching of PTFE)
表面涂層
(e.g. deposition of hydrophobic / hydrophilic layers)

應(yīng)用領(lǐng)域:

REM, TEM考古汽車制造業(yè)橡膠制造業(yè)
微機(jī)械制造傳感器檢測(cè)滅菌紡織業(yè)
醫(yī)療器械制造業(yè)塑料制造業(yè)研發(fā)部門電子半導(dǎo)體行業(yè)


規(guī)格、參數(shù):

系列

Femto

控制系統(tǒng)

半自動(dòng)型

PCCE 控制系統(tǒng) (MicrosoftWindows CE)

PC 控制系統(tǒng) (Microsoft Windows POS Ready 2009)

體積

1.9~6L

真空腔室

圓形不銹鋼件,配有蓋子
(大約 Φ 100 mm, 長(zhǎng) 278 mm 或者長(zhǎng) 600 mm

矩形不銹鋼件,配有鉸鏈的門
(約寬 103 x 285 x 103)

配有蓋子的圓形鋁材,或者配有鉸鏈的門
(大約Φ 95 mm, 長(zhǎng) 280 mm 或者長(zhǎng) 600 mm

配有蓋子的圓形石英玻璃 (UHP),或者配有鉸鏈的門
(大約 Φ 95 mm, 長(zhǎng) 280 mm 或者長(zhǎng) 600 mm

配有蓋子的硼硅玻璃 (UHP) 或者配有鉸鏈的門
(大約Φ 95 mm,長(zhǎng) 280 mm 或者長(zhǎng) 600 mm

電極

單層或多層

RIE

樣品支架

(選項(xiàng):水冷型)、石英玻璃舟皿、粉末轉(zhuǎn)鼓、散裝件轉(zhuǎn)鼓、鋁板、不銹鋼板、硼硅玻璃、石英玻璃

氣源

針型閥

質(zhì)量流量控制器 (MFCs)

壓力計(jì)

Pirani

Baratron(適用于腐蝕性氣體版本)

計(jì)時(shí)器

數(shù)字型

高頻電流發(fā)生器

40 kHz: 功率 0 - 100 W0 - 1000 W

13.56 MHz;功率 0 - 50 W0 - 300 W

12.45 GHz: 功率 0 - 100 W0 - 300 W

所有發(fā)生器均為 0 - 100% 無級(jí)可調(diào)型

真空泵

KASHIYAMA

電源

供電電源: 臺(tái)式設(shè)備為 230 V,立式設(shè)備為 400 V/3 相位

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