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等離子灰化機 PR500/510
- 品牌：日本雅馬拓
- 型號： PR500/510
- 產地：亞洲 日本
- 供應商報價：面議
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江蘇米立特科學儀器有限公司
更新時間：2021-10-21 08:23:22 -
銷售范圍售全國
入駐年限第6年
營業執照已審核
- 同類產品等離子裝置(8件)
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詳細介紹
·PR500/510等離子灰化機
高頻輸出 50~500W,反應腔 Φ215×305mm?
低溫等離子·經典桶型。?
PR500：手動控制 PR510：自動觸摸屏控制
低溫等離子的經典款非常具有歷史性。采用自動協調功能及觸摸屏操作（PR510）,提高了操作性及安全性,是一款小型緊湊型的等離子處理設備。
用途?
·去除光刻膠
·部品清洗
·界面活性處理
·微研磨
·硅晶圓，玻璃基板對應?
特征?
·大口徑（Φ215mm）石英反應腔
·小型一體化設計
·操作簡單的觸摸屏方式（PR510型）?
?規格?
型號
PR500
PR510
模式
DP模式，桶型
控制部
高頻輸出功率
Max500W
頻率
13.56MHz
同調方式
自動協調
反應部
反應腔
石英?Φ215×305mm
反應氣體
2系統（O2／CF4）
控制
手動
觸摸屏自動控制
配管材質
不銹鋼、特氟龍
外形尺寸
W438×D520×H760mm
參照規格書
重量
約60kg
參照規格書
電源
單相AC100V?9A
三相AC200V?8A
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滬公網安備 31011502008050號