源瓶特點：

1、所有管件采用316L不銹鋼，內部經400目機械拋光和電化學拋光，

Ra≦0.25微米；

2、閥門有美國世偉洛克球閥和隔膜閥、日本富士金隔膜閥和韓國TK

隔膜閥供選擇；

3、密封墊片選用純銀鍍鎳墊片；

4、氦質譜檢測泄漏率≦1.0*10-10mbar L/s；

5、可盛裝化學品純度≧99.9995;

6、總殘余元素量≦50PPb；

7、墜落試驗，通過國家商檢部門檢測；

8、介質，TMG\TEG\TMA\TMIN\DEE等；

9、可選擇氣動閥門或者實現在注入端子、輸出端子以及接口之間的

交叉清掃處理等；

10、可提供非標定做。