一、設備概述：

高低溫真空腔探針系統主要用于為被測芯片提供一個低溫或者高溫的變溫測量環境，以便測量分析溫度變化時芯片性能參數的變化。腔體內被測芯片在真空環境中有效避免易受氧化半導體器件接觸空氣所帶來的測試結果誤差。

極低溫測試:

因為晶圓在低溫大氣環境測試時，空氣中的水汽會凝結在晶圓

上，會導致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測試失敗。避免這些

需要把真空腔內的水汽在測試前用泵抽走，并且保持整個測試過程泵

的運轉。

高溫無氧化測試：

當晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時，氧化現象會

越來越明顯，并且溫度越高氧化越嚴重。過度氧化會導致晶圓電性誤

差，物理和機械形變。避免這些需要把真空腔內的氧氣在測試前用泵

抽走，并且保持整個測試過程泵的運轉。晶圓測試過程中溫度在低溫和高溫中變換，因為熱脹冷縮現象，定位好的探針與器件電極間會有相對位移，這時需要針座的重新定位，探針座位于腔體外部，可以在不破壞真空度的同時調整探針達到理想位置進行測量。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動化針座來調整探針的位置。

二、技術參數：

1、探針平臺：

探針座采用真空室外置結構，通過探針臂與探針實現同步、線性位移；探針座采用鋁制整體式結構，結構緊湊、承載大、精度高、穩定性好等優點，三維調節范圍為X、Y、Z±20mm，驅動方式為手動測微頭，驅動位置為V型導軌+交叉滾珠中心驅動，產品定向性能穩定，采用精密研磨絲桿M3*0.5分辨率高，配合做大手輪，最小刻度0.01mm，精度0.001mm，直線度單軸0.002mm，重復定位精度±2微米，單軸直線度±2微米，固定方式為沉孔螺釘固定。自重1.7Kg，負載5Kg。

探針夾具采用同軸探針夾具，接BNC公接頭。阻抗，50歐姆；

接頭，Coaxial BNC公口；最小漏電流，10pA；線徑，30AWG；最大

電壓，700V。考慮到在做晶圓測試時是在高溫下測量，所以探針夾具

連接處需采用高純陶瓷連接，這樣既可以耐高溫，也可以減少放氣量，

有利于高真空獲得和數據的jing準性！

探針臂采用優質304不銹鋼光軸，可以有效保證探針的水平準直

度和變溫環境下的剛性，減少形變造成的不良影響。

探針臂移動真空密封裝置，采用壓縮比達到1:6.5的焊接波紋

管，壓縮壽命優于10萬次。保證探針臂行程的同時減少對探針座造

成的負擔。

2、光學平臺

隔振支撐采用超薄復合材料氣囊、自定心準無摩擦球頭擺桿和帶

附加擴散口的多小孔準層流阻尼技術，隔振性能良好。自動水平，自

動充氣，全部氣動執行元件采用德國FEST0產品，靜音空氣壓縮機氣

源、噪聲低。

應用范圍：適用于對振動要求高的場所。 如光電測量、全息成

像、光柵制作等。輕松 調節,結構穩定可靠。

臺面為三層夾心蜂窩狀支撐結構，采用ICR17優質高導磁不銹鋼

平臺表面粗糙度0.5?0.6 um

平面度0.02 ~ 0.05 mm/m2 

固有頻率1.5 ~2 Hz

振幅小于1 um

重復定位精度±0.10 mm

工作壓力0.2~0.6(Mpa)

3、顯微鏡

1、鑒別力高，視場范圍大，景深長。
2、工作距離長至115mm。
3、左右目鏡屈光度可調正負5度，能滿足不同視力的操作者觀察。
4、能隨意調節手輪的力矩，滿足不同操作者的使用習慣，更可以   

鎖定手輪，方便定倍觀察。
5、本顯微鏡為連續變倍，變倍比為6.3：1 ，物鏡變倍范圍

0.8X-5X。

6、雙目觀察傾斜45度，雙瞳距調節范圍52-75mm。

7、三目體式顯微鏡，可安裝CCD成像系統。

8、最大倍率可達200X。

產品優點：

產品造型比較新穎

機械特性優越，操作舒適度高。

光學系統鑒別力達300線對以上，符合國際標準

超長的工作距離位于國內同行之首

獨有的3A設計

創見性人機學設計，產品細節考慮全面。

配CCD采用USB連接電腦，分辨率≦2微米，像素≧500萬

3A特性：

密封性-------防塵,防油\防水污染，此種接口密封性設計能安全防

塵\防油\防水或其它污染，這就減少了常規的維護,

從而降低了總的費用.

防霉性------使其同樣適用于悶熱或潮濕的環境，此獨有的設計保證

了顯微鏡在高溫或是潮濕下都能安然無恙

防靜電------防靜電設計可以釋放顯微鏡內不斷產生的靜電,防止標

本被損壞,保證提高產量和降低產品成本

4、高低溫控制系統

控溫系統采用溫控儀表配置固態繼電器、熱電偶形成閉環PID控

溫和自整定調節，智能化30段可編程控制，控溫jing準可達到±1℃，

顯示精度1℃，溫度均勻性±3℃；

加熱器220V供電，最高溫度500℃，液氮制冷，zuidi溫度可達

到-130℃。

5、充氣系統

充氣系統采用采用質量流量計及控制顯示器3路，采用日本原裝

品牌，提供原產地證明，精度1%FS，響應時間優于1sec；

測量氣體：待定 ，量程：待定 ，數量：3路 ，連接尺寸：F6

雙卡套。

真空截止閥3個，連接尺寸：F6雙卡套。

F52mm*L200mm混氣罐1個，接頭4個，連接尺寸：F6雙卡套。

連接管路采用F6無縫BA級316材質不銹鋼管。

6、真空系統

真空獲得設備：抽真空機械泵采用中韓合資型號TRP-36，9L/s

抽速，自帶防返油閥門，KF25接口，KF25排氣口，

配有油霧過濾器。極限真空度優于10Pa。

真空連接管道：配置KF40手動真空擋板閥，波紋管密封，性能  

可靠，外觀大氣，手感好；放氣閥配置KF16手動

放氣閥，體積小巧，性能可靠；所有真空管道采

用不銹鋼液壓波紋管，具備很好的柔韌度，消除

機械泵震動所帶給探針臺的影響。

真空測量：真空測量采用全金屬KF16電阻規，配合真空計實時顯

示從大氣壓到0.1Pa的真空度，外形美觀，日后維護

成本低。

7、備品配件

贈送全套密封件1套，探針10只，探針臂陶瓷連接件2個。