產品綜合介紹：

產品功能介紹

等離子清洗技術起源于約30年前的半導體行業,等離子清洗主要用于清洗樣品表面的碳氫化合物.等離子清洗的關鍵要點在于：不能改變樣品本身的化學組成;不能改變樣品的結構特征;不能損傷樣品表面.

SOLARUS - 全新先進等離子體清洗系統，去除碳氫化合物對TEM和SEM樣品臺或樣品的污染。Solarus是新一代等離子系統，其改造的新概念和zui*技術 令它具有更佳的性能，操作簡便和良好的清洗效果。與市面上其他任何等離子清洗體系統相比，Solarus能提供最有效的清洗效果。

品牌介紹

美國GATAN公司成立于1964年并于70年代末進入ZG市場。GATAN公司以其產品的高性能及技術的先進性在全球電鏡界享有極高聲譽。

作為世界領xian的設計和制造用于增強和拓展電子顯微鏡功能的附件廠商，其產品涵蓋了從樣品制備到成像、分析等所有步驟的需求。產品應用范圍包括材料科學、生命科學、地球物理學、電子學，能源科學等領域， 客戶范圍涵蓋全球的科研院所，高校，各類檢測機構及大型工業企業實驗室，并且在國際科學研究領域得到了廣泛認同。

經銷商介紹

歐波同有限公司是ZG領xian的微納米技術服務供應商，是一家以外資企業作為投資背景的高新技術企業，總部位于香港，分別在北京、上海、遼寧、山東等地設有分公司和辦事處。作為蔡司電子顯微鏡、GATAN掃描電子顯微鏡制樣設備及附屬分析設備在ZG地區最重要的戰略合作伙伴，公司秉承“打造國內影響力的儀器銷售品牌”的經營理念，與蔡司，GATAN品牌強強聯合，正在為數以萬計的ZG用戶提供高品質的產品與國際技術服務。

產品主要技術特點：

Solarus是一種獨特的清洗解決方案，它利用等離子配方，對于所有的樣品，包括Holey碳膜，都具有更快更徹底的清洗效果。該設備能安全地清洗掉表面沉積的污染物擴展了對已經被污染的樣品的觀察時間。采用分子泵搭配多級隔膜泵的真空系統可確保快速可靠的抽氣效果。不到1分鐘的抽氣與放氣時間，30秒--2分鐘的清洗時間，整個過程不用2分鐘。

使用等離子清洗的好處：

增強成像能力

提高元素分析的準確性

在SEM中，延長EDX和EBSD的觀察和采集時間

可使用更小的束斑，這對于TEM/STEM中的STEM和EELS分析非常重要。

相比于傳統的等離子清洗儀，Solarus的主要優勢：

1.)獨特的H2/O2配方

2.)更快的清洗周期（不到2分鐘）

3.)交互式的觸摸屏設計

4.)提供7種經測試過的一鍵操作式配方

5.)2個用于裝載側插TEM和SEM樣品桿的前置裝樣口

6.)頂部裝樣口可裝載多個（>25）TEM微柵或者SEM樣品臺/樣品

7.)自動匹配功率的射頻源確保等離子源的長時間穩定

8.)精確的氣體流量控制（質量流量計）

9.)最小損傷的清洗Holey碳膜

10.)支持多種語言（英語、中文、日語、韓文、法語、德語）

產品主要技術參數：

射頻源: 50瓦的射頻電源，具有功率自動匹配功能

真空系統：70升/秒的分子泵搭配兩級隔膜泵

氣壓： 5E-6 Torr基本壓力，400mTorr工作壓力

真空規：緊湊的皮拉尼規

艙室

l 兩個前置接口能裝載TEM適配器，用于裝載側插TEM樣品桿和SEM樣品桿

l 頂部入口用于放入SEM樣品臺，顯微鏡鏡筒部件或者各種真空件

艙室尺寸為3.5”直徑 x 2.0” 深度

l 前置觀察窗能觀察工作時的等離子體發光

l 內置的電磁閥將艙室與真空泵之間隔離開，抽真空時間不到1分鐘，放氣時間小于5秒。

氣體控制：采用精確的質量流量計來測量及控制氣體流量

氣體種類：采用三路獨立氣體（H2，O2和Ar）

清洗配方：提供包含有H2/O2配方等一系列配方，同時支持用戶自定義配方

用戶界面：采用交互式觸摸屏，提供包含有中文、英文等多種語言界面

電源：通用電壓/頻率100VAC - 240VAC/50-60Hz/1000W

產品主要應用

去除碳氫化合物對TEM和SEM樣品臺或樣品的污染

碳膜被油滴污染

處理前，碳氫化合物污染 10min H2/O2配方清洗，污染消除，且沒有樣品本身損傷