Logitech PM5精密研磨拋光系統是帶有一個工作站的臺式機，適用于科學研究水平的研磨和拋光，能夠完成4英寸及以下尺寸樣品的小批量處理。

具有加工樣品一致性高、規格水平高、表面光潔等特點。

精密研磨拋光系統特點：

1、完善的控制系統

在半導體、光電、光學以及地質等應用領域，Logitech PM5精密研磨拋光系統是值得信賴的選擇，典型的應用包括：晶片背減、光纖及波導器件制備、激光棒拋光、MEMS等。無論是對何種高質量表面平整度控制的需求，PM5均能給予用戶滿意的處理效果。

研磨/拋光的所有功能，包括盤轉速、擺臂設定、滴料速度，均顯示在操作控制顯示屏，通過操縱桿對操作控制顯示屏的參數進行設定。

2、自動化功能增強

機器運行內置計時器，在無人看管時可以設定計時器，計時器時間設定范圍0-10小時，在處理材料完成時機器自動停止（拋光狀態下報警不停機），控制系統向操作員發出蜂鳴提醒。

為了進一步提高易用性，Logitech PM5精密研磨拋光系統部分配備真空管道，以聯通真空裝置，VS2真空系統單元獨立放置，在提供真空系統同時具有過濾防污染的功能。可以看到，Logitech的全套備件配置使用為用戶帶來了足夠大的加工靈活性。

Logitech PM5精密研磨拋光系統夾具具有在線監測功能，可實時顯示樣品處理的去除量，監測精度1um；為適應各種大小尺寸的樣品處理，夾具對晶片作用壓力可以連續調節，通過增加夾具壓力塊，壓力調節范圍最大可達0.1-7Kg；夾具最大處理樣品尺寸4英寸。

3、直觀的操作控制系統

快速、高效的研磨/拋光盤，便于拆卸，方便用戶在不同的研磨過程之間的快速轉換，以及研磨和拋光工藝的變換。這種靈活性使PM5成為實驗室空間有限的情況下的S要選擇。

Logitech PM5精密研磨拋光系統具有耐化學腐蝕的配置，適合在腐蝕性物質環境中使用，如砷化鎵拋光中常常使用的Chemlox拋光液。耐腐蝕的設計保障了系統在酸堿工作環境中運行。

4、精準的滴料系統

磨料自動填料系統通過一個可調導料槽，確保精準的控制料液流從料桶滴入研磨盤或拋光盤。滴料的控制設計，具有很高的經濟性，特別適合多樣化研究使用。

此外，可拆卸的料液托盤導出廢料，使其流入廢料桶，從而保障設備安全穩定的長時間持續運行，同時減輕設備的清理工作。

5、完整的參數控制，確保結果一致

研磨/拋光的工藝過程中，盤的表面情況會在一定程度上反饋在樣品表面，通過控制研磨盤的盤面型從而提高樣品平整度；通過保持拋光盤的表面狀態從而提高樣品表面質量。

為獲得**結果，設備往復運動的速度和擺幅可以精確的控制樣品處理效果，從而提高了結果的高重復性和高一致性。

精密研磨拋光系統技術規格：