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FPS 6100多功能掩膜版光刻機
- 品牌：瑞典Mycronic
- 型號： FPS 6100
- 產地：歐洲 瑞典
- 供應商報價：面議
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深圳市藍星宇電子科技有限公司
更新時間：2025-04-11 12:20:22 -
銷售范圍售全國
入駐年限第7年
營業執照已審核
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為您推薦
產品特點
- 生產效率提高，曝光速度更快，減少輔助操作時間；
畫面質量更優質，更小的成像單位；
6種曝光水平和干板曝光的平臺可擴展性；
FPS5100/5300/5500可升級。 詳細介紹
使多功能光掩模制造
具有無與倫比的靈活性
FPS6100傳遞的畫面質量和生產效率有所提高，符合當下更為先進的多功能市場細分的要求。
許多應用和生產環境可以設置FPS6100：電子包裝、觸摸屏、濾色鏡、精細的金屬膜片、3D模具等等。這意味著你可以充分利用現行產品體系，同時瞄準新的商機。
與之前的FPS5500相比，FPS6100能夠提供更高的曝光速度以及更優質的畫面質量。如果您的FPS系統是老一代的，您可以將它升級至FPS6100系列，不僅節省成本同時提高經營的能力和質量。
主要優勢：· 生產效率提高，曝光速度更快，減少輔助操作時間
· 畫面質量更優質，更小的成像單位
· 6種曝光水平和干板曝光的平臺可擴展性
· FPS5100/5300/5500可升級
技術指標
FPS6100
Lvl 80
Lvl 60
Lvl 40
曝光速度[mm2/min]
525
1250
2600
最小L/S 溶解（pitch/2）
0.75
1.2
2.0
CD均勻性3σ [nm]
30
40
60
套合3σ[nm]
70
85
100
最大掩膜尺寸 [mm]
813x813*
FPS6100
Lvl 25
Lvl 20
Lvl 15
曝光速度[mm2/min]
6000
8000
12000
最小L/S 溶解（pitch/2）
3.5
5.0
7.0
CD均勻性3σ [nm]
80
100
200
套合3σ[nm]
120
140
160
最大掩膜尺寸 [mm]
813x813*
FPS6100E
Lvl 25
Lvl 20
Lvl 15
曝光速度[mm2/min]
5000
8000
12000
最小L/S 溶解（pitch/2）
6.0
8.0
12.0
CD均勻性3σ [nm]
600
700
900
套合3σ[nm]
120
140
160
最大掩膜尺寸 [mm]
813x813*
* 掩膜可伸展尺寸到達可選擇的1100×1100 和 900×1200技術指標
FPS6100
Lvl 80
Lvl 60
Lvl 40
曝光速度[mm2/min]
525
1250
2600
最小L/S 溶解（pitch/2）
0.75
1.2
2.0
CD均勻性3σ [nm]
30
40
60
套合3σ[nm]
70
85
100
最大掩膜尺寸 [mm]
813x813*
FPS6100
Lvl 25
Lvl 20
Lvl 15
曝光速度[mm2/min]
6000
8000
12000
最小L/S 溶解（pitch/2）
3.5
5.0
7.0
CD均勻性3σ [nm]
80
100
200
套合3σ[nm]
120
140
160
最大掩膜尺寸 [mm]
813x813*
FPS6100E
Lvl 25
Lvl 20
Lvl 15
曝光速度[mm2/min]
5000
8000
12000
最小L/S 溶解（pitch/2）
6.0
8.0
12.0
CD均勻性3σ [nm]
600
700
900
套合3σ[nm]
120
140
160
最大掩膜尺寸 [mm]
813x813*
* 掩膜可伸展尺寸到達可選擇的1100×1100 和 900×1200
滬公網安備 31011502008050號