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無掩模光刻機(jī),激光直寫系統(tǒng)

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產(chǎn)品特點(diǎn)

光刻工藝是半導(dǎo)體工藝Z關(guān)鍵的步驟之一,用于圖形定義,直接決定半導(dǎo)體整線 工藝的水平。

詳細(xì)介紹

QQ截圖20220707114357.png

※ 主要應(yīng)用:MEMS、先進(jìn)封裝、化合物半導(dǎo)體、光電器 件、光電顯示、生物芯片、3D結(jié)構(gòu)等微米級(jí)和亞微米級(jí)圖 形,尤其在厚膠、碎片、邊緣曝光等特殊工業(yè)有明顯優(yōu) 勢(shì)。 

※ 可用于0.3um線寬及以上的光刻工藝。 

※ 支持單面對(duì)準(zhǔn)、雙面對(duì)準(zhǔn)及套刻工藝。 

※ XY移動(dòng)范圍100mm-300mm,Z軸移動(dòng)范圍25mm, 360度樣品旋轉(zhuǎn)。 

※ 其他尺寸需客戶定制。

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