Alpha-Step D-300 探針式輪廓儀支持臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力的2D 測量。光學(xué)杠桿傳感器技術(shù)提供高分辨率測量，大垂直范圍和低觸力測量功能。

    探針測量技術(shù)的一個優(yōu)點是它是一種直接測量，與材料特性無關(guān)。可調(diào)節(jié)的觸力以及探針的選擇都使其可以對各種結(jié)構(gòu)和材料進行測量。通過測量粗糙度和應(yīng)力，可以對工藝進行量化，確定添加或去除的材料量，以及結(jié)構(gòu)的任何變化。

    二、 功能

    設(shè)備特點

• 臺階高度：幾納米至1000μm

• 低觸力：0.5至15mg

• 視頻：500萬像素率彩色攝像頭

• 梯形失真校正：消除側(cè)視光學(xué)系統(tǒng)引起的失真

• 圓弧校正：消除由于探針的弧形運動引起的誤差

• 緊湊尺寸：小占地面積的臺式探針式輪廓儀

    主要應(yīng)用

• 臺階高度：2D臺階高度

• 紋理：2D粗糙度和波紋度

• 形式：2D翹曲和形狀

• 應(yīng)力：2D薄膜應(yīng)力

    應(yīng)用領(lǐng)域

• 半導(dǎo)體和復(fù)合半導(dǎo)體

• SIMS：二次離子質(zhì)譜

• LED：發(fā)光二極管

• 太陽能

• MEMS：微電子機械系統(tǒng)

• 汽車

• 醫(yī)療設(shè)備