主要功能

●    InForce 50作動器，用于電容位移測量和電磁力驅動，具有可互換的壓頭

●    獨特的軟件集成壓頭校準系統，可實現快速準確的壓頭校準

●    InQuest高速電子控制器，具有100kHz數據采集速率和20μs時間常數

●    XY移動系統帶有易于安裝的磁性樣品架

●    具有數字變焦功能的集成顯微鏡，可獲得精確的壓痕定位

●    ISO 14577和標準化測試方法

●    InView軟件包，包含RunTest、ReviewData、InFocus報告、InView University在線培訓和InView移動應用程序

主要應用

●    硬度和模量測量（Oliver Pharr）
●    材料力學性能分布圖
●    ISO 14577硬度測試
●    聚合物損耗因子，儲存模量和損耗模量
●    高溫納米壓痕測試

硬度和模量測量（基于Oliver-Pharr模型）

在薄膜的工藝控制和制造過程中，表征其力學性能至關重要，其中包括汽車行業的涂層質量，以及半導體制造中的前道和后道工藝控制等。

iNano 納米壓痕儀可以測量各種材料的硬度和模量，從超軟膠到硬涂層。高效地評估材料性能，保證了在生產線上進行有效的質量管控。

快速材料力學性能成像

對于包括復合材料在內的許多材料而言，不同區域之間的力學性能可能存在很大差異。iNano提供了X和Y軸100毫米和Z軸25毫米的樣品臺移動，允許在大樣品面積上測試各種樣品高度。使用NanoBlitz功能選項進行材料表面和斷層力學性能成像，可以快速獲得各種被測力學性能的彩色分布圖。

ISO 14577 硬度測試

iNano納米壓痕儀包括一個預先編寫的ISO 14577測試方法，用于測量符合ISO 14577標準的材料硬度。 該測試方法可以自動測量并輸出楊氏模量、納米壓痕硬度、維氏硬度和歸一化壓痕功。

聚合物損耗因子

iNano納米壓痕儀能夠測量 超軟材料（包括粘彈性聚合物）的損耗因子。 儲存模量、損耗模量和損耗因子是粘彈性聚合物的重要性能，因為作用到此類材料上的能量以彈性能的形式儲存或以熱量的形式耗散。上述指標即用于衡量材料中的能量儲存和耗散情況。

高溫納米壓痕測試

高溫納米壓痕對于表征熱應力作用下的材料性能至關重要，在定量研究熱機械加工過程中的失效機理時更是如此。在不同溫度下進行力學測試，不僅可以研究材料受熱時的性能變化，還可以量化研究材料的塑性轉變，這在納米尺度上并非易事。

適用行業

●    大學、研究實驗室和研究所
●    半導體和封裝行業
●    聚合物和塑料
●    MEMS（微機電系統）/納米級通用測試
●    陶瓷和玻璃
●    金屬和合金
●    制藥
●    涂料和油漆
●    聚合物制造
●    復合材料
●    電池和儲能

●    更多應用，請聯系我們以滿足您的要求

適用行業舉例

半導體晶圓

半導體制造商通常致力于生產高質量的薄膜，而薄膜柔韌性較差將導致開裂和剝離。基底和外延層中未檢測到的缺陷，也可能導致長期隱患和裂紋延展，造成器件失效。KLA納米壓痕儀能夠測量超薄膜的彈性模量和硬度，及斷裂韌性和開裂閾值，且不受基底的影響。將納米力學性能與工藝參數建立關聯，對于半導體器件產能至關重要。

半導體封裝

電子元件的性能和壽命可能取決于其封裝的完整性。KLA納米壓痕儀讓半導體封裝廠商可以評估聚合物底部填充物的力學性能、焊料應變速率敏感因子和金屬部件的強度。

聚合物與塑料

聚合物與塑料由于其時效變形特性，而被用于許多應用之中。無論聚合物是用作減振器、擠出材料還是醫療植入物，通常都通過動態力學分析（DMA）對其進行分析。在許多情況下，塑料部件的幾何形狀不適合采用傳統的DMA儀器進行測試。無論樣品的幾何形狀如何，KLA納米壓痕儀都能夠局部定位塑料部件上的目標區域，并測量與頻率相關的儲能模量、損耗模量和損耗因子。iNano也可用于測量粘彈性蠕變和應力松弛特性。

陶瓷與玻璃

陶瓷和玻璃因其獨特的光學、力學和電學特性，而成為許多應用中使用的重要材料。陶瓷與玻璃的傳統力學測試（例如，四點彎曲測試）可能既耗時又昂貴。iNano可以快速表征少量材料的彈性模量和硬度。納米壓痕儀的劃痕測試功能也非常適合定量評估光學涂層的耐劃擦性。

金屬與合金

金屬與合金在許多行業中發揮著重要作用，例如汽車、航空航天、醫療和半導體。金屬與合金的傳統力學測試（例如，拉伸測試）可能既耗時又昂貴。iNano可以對少量材料進行快速表征。它還讓用戶可以表征彈性模量、硬度和抗蠕變性，以及這些特性隨空間位置變化的梯度。

電池與儲能

電池材料的力學性能與電池的穩定性、充電容量和續航時間密切相關。iNano 納米壓痕儀非常適合測試各種電池材料，從軟質鋰金屬到硬質陶瓷基片。iNano提供面向多種環境的先進測量解決方案，其中包括干燥室和手套箱。

制藥、食品和個人護理

藥品、食品和個人護理產品的力學性能與客戶滿意度和體驗密切相關。材料的彈性模量或剛度可能與質地和觸感有關。藥物糖衣的力學性能對于準時釋放藥性也至關重要。iNano 納米壓痕儀提供定量信息，補充定性客戶反饋。

納米級通用測試

iNano納米壓痕儀系統能夠測量納米級力學形變和其它納米力學特性。iNano的多種測試能力包括納米壓痕、壓縮、拉伸、蠕變、應力松弛和疲勞的測量。此外還支持標準和自定義試驗方法。KLA納米壓痕儀團隊的專職科學家還可提供咨詢和實驗設計。

選配件

連續剛度測量（CSM）

連續剛度測量用于量化測定動態材料特性，例如應變速率效應和頻率相關特性。CSM技術在壓痕過程中控制壓頭振蕩，以測量樣品性能隨深度、荷載、時間或頻率的變化。該選項默認進行恒應變速率測試，測量硬度和模量隨深度或載荷的變化，這是學術界和工業界最常用的測試方法。CSM 還可用于其它高級測試選項，包括 ProbeDMA?選項以測量存儲模量和損耗模量，以及AccuFilm?選項以獲得不受襯底影響的薄膜性能。CSM 功能集成在 InQuest 控制器和 InView 軟件中，使用極為簡便，且確保數據質量。

300°C樣品加熱

300°C樣品加熱選項允許將樣品放入加熱室中進行均勻加熱的同時使用InForce 50作動器進行測試。 該選項包括高精度溫度控制系統、惰性氣體保護系統以減少氧化、冷卻系統以移除余熱。ProbeDMA、AccuFilm、NanoBlitz和CSM功能均與樣品加熱選項兼容。

NanoBlitz 3D

NanoBlitz 3D利用InForce 50作動器和Berkovich壓頭來生成高模量 (> 3GPa)材料的納米機械特性的3D圖。 NanoBlitz 3D每個壓痕時間小于1s，單次測試可包含多達100,000個壓痕點（300×300陣列），獲得每個壓痕點在特定載荷下的楊氏模量（E）、硬度（H）和接觸剛度（S）。大量的測試數據能夠提高統計的準確性。統計直方圖可以呈現樣品中的多個物相或材料組分。NanoBlitz 3D方法包還包含可視化軟件和數據處理功能。

NanoBlitz 4D

NanoBlitz 4D公司利用InForce 50作動器和Berkovich壓頭來生成低模量/硬度和高模量 (>3GPa)材料的納米機械性能的4D圖。 NanoBlitz 4D每個壓痕僅需5-10秒，單次測試可包含多達10,000個壓痕點（100×100陣列），獲得每個壓痕點的楊氏模量（E）、硬度（H）和接觸剛度（S）等隨深度的變化。NanoBlitz 4D 采用恒應變率方法。其軟件包還包含可視化軟件和數據處理功能。

AccuFilm? 薄膜方法包

AccuFilm?薄膜方法包提供基于Hay-Crawford模型的InView測試方法，其采用連續剛度測量(CSM)獲得不受襯底影響的薄膜材料性能。AccuFilm?能夠修正薄膜力學性能測量中襯底的影響，其應用既包括“硬膜軟基底”，也包括“軟膜硬基底”的情況。