日立納米尺度3D光學干涉測量系統
對于材料和加工工業中廣泛使用的紙制品、樹脂產品、金屬鍍膜等，表面形貌和表面粗糙度測量在防止故障或質量控制中起重要作用。尤其，當多層薄膜出現不良產品時，需要確定是表面，界面或是層內哪個部位出現了問題。在大多數情況下，是進行切割以確定異常部位。但是，某些樣品是不能進行切割的，無損檢測就變得極為重要。納米尺度3D光學干涉測量系統VS1800，可同時滿足上述高精度的表面形貌測量及對多層膜的無損測量，在材料和加工工業中實現了廣泛的應用。
下面就以兩個實例來對多層膜無損測量分析的功能進行介紹。
1.透明樣品：金屬鍍膜分析
以下是對金屬透明鍍膜進行無損測量分析的一個實例，從分析數據中可以得到表面，界面三維形貌，以及厚度分布的三維圖像，對于大范圍的面分析以及厚度參差不齊有一個更為直觀和清晰的認識。
2.不透明樣品：名片印字部分分析
以下是對名片印字部分進行無損測量分析的一個實例，從分析數據中可以得到表面三維形貌，并且可以觀察到碳粉和紙之間的分界面，從而可以測量碳粉的厚度，如圖所以，紅色部分碳粉的厚度為2.6?。
綜上所述，使用日立納米尺度3D測量系統，針對透明、半透明樣品甚至某些特殊的不透明樣品，嘗試內部結構的無損測量，得到多層結構每層厚度、內部缺陷、每層界面粗糙程度等等信息。為相關領域客戶提供了一個快速簡便的解決方案。
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