離子束刻蝕系統
也稱為離子銑,是指當定向高能離子向固體靶撞擊時,能量從入射離子轉移到固體表面原子上,如果固體表面原子間結合能低于入射離子能量時,固體表面原子就會被移開或從表面上被除掉。通常離子束刻蝕所用的離子來自惰性氣體。離子束最小直徑約10nm。目前聚焦離子束刻蝕的束斑可達100nm以下,最少的達到10nm,獲得最小線寬12nm的加工結果。
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離子束刻蝕系統產品列表
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- 品牌:美國Nano-Master
- 型號:NIE-4000,NIE-3500,NIR-4000,
- 產地:美洲 美國
供應商:深圳市藍星宇電子科技有限公司
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- 品牌:美國Nano-Master
- 型號:NIE-4000,NIE-3500,NIR-4000
- 產地:美洲 美國
供應商:深圳市藍星宇電子科技有限公司
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- 品牌:美國Nano-Master
- 型號:NIE-4000
- 產地:美洲 美國
供應商:深圳市藍星宇電子科技有限公司
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- 品牌:美國Nano-Master
- 型號:NIE-4000,NIR-4000 IBE/RIE
- 產地:美洲 美國
供應商:深圳市藍星宇電子科技有限公司
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- 品牌:牛津儀器
- 型號:Ionfab 300 IBE
- 產地:歐洲 英國
供應商:深圳市藍星宇電子科技有限公司
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- 品牌:美國Nano-Master
- 型號:NOC-4000
- 產地:美洲 美國
供應商:深圳市藍星宇電子科技有限公司
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- 品牌:美國那諾-馬斯特
- 型號:NIE-3500(A)
- 產地:美洲 美國
供應商:那諾—馬斯特中國有限公司
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- 品牌:美國那諾-馬斯特
- 型號:NIE-4000(M)
- 產地:美洲 美國
供應商:那諾—馬斯特中國有限公司
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- 品牌:日本ELIONIX
- 型號: EIS-200
- 產地:亞洲 日本
供應商:深圳市科時達電子科技有限公司
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- 品牌:北京華測
- 型號:ADVANCED
- 產地:美洲 美國
供應商:北京華測試驗儀器有限公司
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- 品牌:美國那諾-馬斯特
- 型號:NIE-4000
- 產地:美洲 美國
供應商:那諾—馬斯特中國有限公司
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- 離子束刻蝕系統
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