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多維度光學耦合臺/撓性平移臺-NXP系列

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產品特點

NXP系列多維度光學耦合臺包含六軸耦合臺和三軸耦合臺，可用于其他產品的手動驅動和電動驅動。它適用于光纖、波導、光電封裝和任何高分辨率對準或定位應用，包括通用實驗室任務。創新的柔性設計與模塊化驅動系統相

NXP 系列多維度光學耦合臺產品概述

說明：

NXP 系列多維度光學耦合臺包含六軸耦合臺和三軸耦合臺，以及可用于其他產品的手動驅動和電動驅動。它適用于光纖、波導、光電封裝和任何其他高分辨率對準或定位應用，包括通用實驗室任務。創新的柔性設計與模塊化驅動系統相結合，提供了卓越的性能和靈活性。

NXP 系列六軸耦合臺的位移臺在移動平臺前都有不銹鋼探針，標記所有旋轉軸的公共支點，所有旋轉軸都具有公共支點，可以減少系統的對準時間。

NXP 系列多維度光學耦合臺產品內部沒有導軌軸承，平行撓性設計確保滑臺連續的運動和長期的穩定性，非常適用于亞微米級分辨率的應用。對于納米定位應用，提供內置壓電驅動器的版本。這種結構相對于滑臺組維的方式，穩定性有極大的提高，在溫度較為恒定的條件下，產品適用于光纖對準等需要保持靜態粘接的應用中。

NXP 系列多維度光學耦合臺可進行手動驅動 / 電動驅動快換，可滿足空間中不同維度使用混裝驅動器。

命名規則

NXP多維度光學耦合臺選型表

注：表格為NXP系列產品型號匯總，其中紅色標注型號為研發中產品

六軸高精度耦合臺

型號		NXP-6M	NXP-6P	NXP-6NP
行程		X 、Y 、Z直線行程為4 mm。Rx、 Ry、 Rz(擺動、俯仰和偏轉)行程為4 。(70mrad)
傳動比		X軸和Y軸傳動比為1： 1.5，驅動器每平移1 mm，位移臺將平移1.5 mm；Z軸的傳動比為1:1；三個旋轉軸驅動每平移 1μm，旋轉17μrad
分辨率		見驅動
旋轉中心		公共旋轉中心；最大串擾100 µm
壓電	規格	無	開環壓電	閉環壓電
	行程		19µm
	分辨率		X 、Y 、Z 1nm / Rx、 Ry、 Rz 0.018 µrad
最大負載		1kg
共振頻率		>130 Hz(±10%)
熱穩定性		1μm/℃

三軸高精度耦合臺

驅動