統稱：GC特氣柜

分類：手持特氣柜、全自動特氣柜；

名稱：手持特氣柜；

規格：單瓶、雙瓶、三瓶、混合可選工藝氣瓶

操作方式：手動

（1）基礎配置

■氦檢報告

■手動操作

■高壓測漏功能

■單工藝瓶供氣

■帶自清潔功能

■4寸排風口及閥門

■配置吹掃抽真空功能

■帶鋼絲玻璃觀察窗、自動關閉門、抽風外殼

（2）可選配置

■噴淋頭

■帶加熱盤面

■高溫探測警

■煙霧感應器

■配置電子磅秤

■配置 UV/IR火焰探測器

■前端0.1μ過濾器，后端0.001μ終端過濾器

（3）適用氣體

燃爆性氣體，如氫氣（H2）, 一氧化氮（N2O）, 甲烷（CH4）,乙炔（C2H2)等，毒腐性氣體，如二氧化硫（SO2）、硫化氫（H2S）、一氧化碳（CO）、二氧化氮（NO2）、氯化氫（HCL）等

4）應用行業

應用在 MOCVD、PECVD、刻蝕機等配套設備上，適用于高校實驗室、材料分析實驗室、芯片半導體、光伏太陽能電池、生物醫藥工程、微電子新材料等行業

名稱：全自動特氣柜

規格：單瓶、雙瓶、三瓶、混合可選工藝氣瓶

操作方式：全自動

基礎配置:

氦檢報告、三色塔燈、防爆電控箱、高壓測漏功能、帶自清潔功能、4寸排風口及閥門、所有閥門使用氣動閥、單工藝瓶自動供氣、防爆外柜，烤漆或不銹鋼外殼包覆、符合安全規范的帶鋼絲玻璃觀察窗、實現人氣分離的全自動觸摸屏操作(外吹掃、抽真空，自動緊急遠程切斷、事故報警，高壓保壓鋼瓶接頭測漏，泄漏報警對接，通風出口等)

可選配置：

噴淋頭、帶加熱盤面、高溫探測報警、配置電子磅秤、配置 UV/IR,噴淋頭，高溫傳感器，煙氣傳感器、前端0.1μ過濾器，后端0.001μ終端過濾器、為保證安全，所有閥門管件須使用國外品牌。

適應氣體：

燃爆性氣體，如氫氣（H2）, 一氧化氮（N2O）, 甲烷（CH4）,乙炔（C2H2)等，毒腐性氣體，如二氧化硫（SO2）、硫化氫（H2S）、一氧化碳（CO）、二氧化氮（NO2）、氯化氫（HCL）等

應用行業：

適用于高校實驗室、材料分析實驗室、芯片半導體、光伏太陽能電池、生物醫藥工程、微電子新材料等行業。