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昊量/auniontech 納米平移臺（壓電馬達型，10-1500mm行程）

銷售范圍售全國

入駐年限第10年

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詳細介紹

XLS系列線性位移平臺，是由超聲波壓電馬達驅動，可提供不同行程的精確定位。由于采用超聲波壓電馬達驅動，速度可達到200mm/s，并且該平臺適用于掃描，可提供恒定的掃描速度，速度不穩定性低于2%。

該平臺采用超聲波馬達，對于這種馬達平臺的運動是通過接觸點的橢圓振蕩產生。如下圖所示。通過橢圓的振蕩推動平臺產生微小移動，并通過高頻率產生極高的速度，并且沒有噪聲，電機在定位后可產生自鎖，由于馬達在橢圓振蕩的上端才會與平臺接觸，大大提高平臺的使用壽命通常在10-100km。

XLS系列平臺可提供不同的行程，行程范圍可達到92mm。為了適應不同精度要求的應用，平臺集成不同精度的位置傳感器，根據閉環系統中傳感器的精度可分為以下幾類線性平臺

1）集成-1250位置傳感器的壓電馬達平臺-min setp1250nm，

	XLS-1-40	XLS-1-50	XLS-1-60	XLS-1-70	XLS-1-80	XLS-1-100	XLS-1-120	Unit
travel range	27	32	37	42	50	72	92	mm
resolution	1250							nm
unidirectional repeatability	±1250							nm
bidirectional repeatability	±2500							nm
load capacity	0.5							kg
holding force	1							N
driving force	1							N
max. speed	200							mm/s
min. speed	2 to 5							mm/s
cable length	1.5							m

2）集成-312位置傳感器的壓電馬達平臺-min setp350nm

	XLS-1-40	XLS-1-50	XLS-1-60	XLS-1-70	XLS-1-80	XLS-1-100	XLS-1-120	Unit
travel range	27	32	37	42	50	72	92	mm
resolution	350							nm
unidirectional repeatability	±350							nm
bidirectional repeatability	±700							nm
load capacity	0.5							kg
holding force	1							N
driving force	1							N
max. speed	200							mm/s
min. speed	2 to 5							mm/s
cable length	1.5							m

3) 集成-78位置傳感器的壓電馬達平臺-min setp80nm

	XLS-1-40	XLS-1-50	XLS-1-60	XLS-1-70	XLS-1-80	XLS-1-100	XLS-1-120	Unit
travel range	27	32	37	42	50	72	92	mm
resolution	80							nm
unidirectional repeatability	±80							nm
bidirectional repeatability	±160							nm
load capacity	0.5							kg
holding force	1							N
driving force	1							N
max. speed	200							mm/s
min. speed	2 to 5							mm/s
cable length	1.5							m

4) 集成-1位置傳感器的壓電馬達平臺-min setp25nm

	XLS-1-40	XLS-1-50	XLS-1-60	XLS-1-70	XLS-1-80	XLS-1-100	XLS-1-120	Unit
travel range	27	32	37	42	50	72	92	mm
resolution	25							nm
unidirectional repeatability	±25							nm
bidirectional repeatability	±50							nm
load capacity	0.5							kg
holding force	1							N
driving force	1							N
max. speed	200							mm/s
min. speed	2 to 5							mm/s
cable length	1.5							m