產品介紹：

       昊量光電推出的皮米精度位移測量儀quDIS是低至納米范圍位移測量的理想儀器，達到了前所未有50pm的重復精度。quDIS支持三個測量通道，使其可以適用于任意多軸測量應用。皮米精度位置測量儀同樣采用激光干涉法，不過與傳統激光干涉儀相比，其集成了法珀腔（Reference cavity）及飽和吸收氣室（GC）作為頻率校準參考，通過激光波長調諧掃描，比較兩種不同的干涉圖樣，可以實現其它設備所不具有的距離測量。因此，皮米精度位移測量儀不僅可以獲得位置、速度和加速度等信息，折射率、反射率或表面傾斜度等信息也可以從實時信號中得到。

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干涉傳感頭

根據反射目標的不同，所有應用都需要不同的準直、聚焦和光束剖面約束。激光束的成型是通過不同的傳感器頭來實現的。所有的quDIS的傳感器頭都是基于光纖的，除了標準準直儀和已建立的聚焦頭，quDIS還為惡劣環境下的應用程序設計了特殊的頭。

用于測量高溫漂移物體的傳感器頭的設計

鎳鐵合金制造的低熱膨脹系數準直頭

產品關鍵特性：

• 信號穩定性：< 0.05nm
  

• 距離測量

• 0.1——20m工作距離
  

• 工作帶寬25kHz
  

• 目標速度1m/s

• 3個傳感頭，多設備同步

應用領域：

• 干涉距離測量

• 振動分析

• 束線中斷補充

• 間隙和邊緣測量
  

• 環境振動分析

• 位移臺精度評估

皮米精度位置測量儀參數列表：