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法國SET ACCμRA M 鍵合機

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產品特點

法國SET的鍵合壓力控制在不同的范圍內采用了不同的高精度壓力傳感器,確保了在不同的壓力范圍內,都能夠得到ZJ的壓力控制精度。

詳細介紹

?SET ACCμRA M 鍵合機

       法國SET的鍵合壓力控制在不同的范圍內采用了不同的高精度壓力傳感器,確保了在不同的壓力范圍內,都能夠得到zui佳的壓力控制精度。




Applications


? Laser diode, laser bar ? VCSEL, photo diode


? LED


? Prisms, lenses, mirrors ? Micro assembly


? Flip-chip bonding, die bonding


? Chip-to-chip, chip-to-substrate bonding



Specifications


? Accuracy* ±1 μm


?Post-bond accuracy: +/- 5 μm


?Range of force


Low force arm: 20 g to 1 kg


High force arm: 100 g to 20 kg


?Temperature up to 400°C Independent heating for chip and substrate


?High resolution vertical movement 74 mm, resolution 0.01 μm Driven by linear motor


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