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URE-2000/A8 紫外單面光刻機
- 品牌：中科院
- 型號： URE-2000/A8
- 產地：四川 成都
- 供應商報價：面議
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深圳市藍星宇電子科技有限公司
更新時間：2025-04-28 09:26:15 -
銷售范圍售全國
入駐年限第7年
營業執照已審核
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產品特點
- URE-2000/A8 紫外單面光刻機，曝光面積： 200mm×200mm；分辨力：≤ 2μm
詳細介紹
- URE-2000/A8 紫外單面光刻機1、設備主要技術指標：(1) 曝光面積： 200mm×200mm；（2）分辨力：≤ 2μm；（3）對準精度：±2μm；（4）掩模尺寸：5 英寸、7 英寸、9 英寸；（5）樣片尺寸：4 英寸、6 英寸、8 英寸；（6）wafer chuck 表面：防止光反射涂層；（7）掩模樣片整體運動范圍：X：10mm;Y:10mm；（8）掩模相對于樣片運動行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; Thelta: ±6°；（9）汞燈功率：1000W（直流）；（10）曝光能量密度：≥ 15mW/cm 2 ；（11）曝光峰值波長:365nm；（12）曝光方式：定時（計時方式 0.1s—999.9s）；（13）調平接觸壓力通過傳感器保證重復（14）數字設定對準間隙和曝光間隙（15）具備壓印模塊接口，也具備接近模塊接口2．技術主要組成部分（1）曝光頭系統包括:。 冷光橢球鏡；。德國 OSRAM1000W 直流高壓汞燈；。XYZ 汞燈調節臺；。 光學系統（冷光紫外平面反射鏡、快門、蠅眼透鏡組、冷光紫外拋物面反射鏡）；。 冷卻風扇。（2）對準工件臺系統包括:。掩模樣片相對運動臺；。（XY），轉動臺；。 樣片調平機構；。 樣片調焦機構；。 承片臺 3 個： 4 英寸、6 英寸、8 英寸；。 掩模夾 3 個：5 英寸、7 英寸、9 英寸。（3）CCD 對準顯微鏡系統包括:。4 倍顯微鏡 2 只；。照明光源 2 套；。 CCD 相機 2 只；。22 英寸液晶顯示器。（5）電控系統：。 汞燈觸發電源(1000W)；。 單片機控制系統；。 控制柜桌。（6）氣動系統系統包括:。氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關，電磁閥驅動，氣動儀表等（7）其他配置與附件。真空泵一臺；。空壓機一臺；。 配套氣管 10m；
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