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日本雅馬拓 等離子試紙

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詳細介紹

概要
○可隨低溫等離子強弱而引起顏色變化的試紙
○等離子功率強,處理時間長時,試紙色調變化速度會提高。
※色調變化原因為等離子進行有機反應或蝕刻時,會與試紙產生相互作用。
特征
○等離子處理效果,可通過目測試紙顏色的變化而判定
○可通過觀察試紙的變化來判斷等離子 處理強度的平面空間分布
○氧氣,氬氣等適合半導體行業處理方式也有著廣泛的應用


左上圖  PLAZMARK O2
O2以外,N2,Air,CF4,H2,NH3等氣體也適用。
上中圖  PLAZMARK Ar洗凈用
諸如Ar等離子這類較難感知的陽性等離子,該試紙同樣適用。
右上圖  PLAZMARK大氣壓等離子用
打印機配線板制造/FPD制造/膜加工等大氣壓等離子設備處理效果同樣可以用該試紙測試。
左下圖  PLAZMARK有機膜去除用
最適合打印設備 配線基板制造時,等離子清除有機膜后,進行驗證用。O2+CF4混合氣體也適用。
下中圖  PLAZMARK耐熱性
采用無機材料色材,耐熱性能好(貼紙型號200℃耐熱)。
右下圖 PLAZMARK硅晶圓行業
采用無機色彩,可以確保晶圓潔凈。超低氣體排放。可耐熱400℃。

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