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108進口離子濺射儀

品牌：天澤智能
型號： 108
產地：天津東麗區
供應商報價：$10000

天澤智能科技發展（天津）有限責任公司更新時間：2024-11-19 17:35:12

銷售范圍售全國

入駐年限第6年

營業執照已審核

同類產品離子濺射儀(2件)

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產品特點

108離子濺射儀是一款結構緊湊的桌上型鍍膜系統，特別適用于掃描電鏡成像中非導電樣品高質量鍍膜。
描述
108離子濺射儀是一款結構緊湊的桌上型鍍膜系統，特別適用于掃描電鏡成像中非導電樣品高質量鍍膜。
主要特性
l 通過GX低壓直流磁控頭進行冷態精細的噴鍍過程，避免樣品表面受損。
l 操作容易快捷，控制的參數包括放氣以及氬氣換氣控制。
l 可用MTM-10高分辨膜厚控制儀（選件）精確測定所鍍膜的厚度。
l 數字化的噴鍍電流控制不受樣品室內氬氣壓力影響，可得到一致的鍍膜速率和ZJ的鍍膜效果。
可使用多種金屬靶材：Au， Au/Pd,，Pt,，Pt/Pd（Au靶為標配），靶材更換快速方便。

詳細介紹

108 鍍膜儀（離子濺射儀）

108離子濺射儀是一款結構緊湊的桌上型鍍膜系統，特別適用于掃描電鏡成像中非導電樣品高質量鍍膜。

描述

108離子濺射儀是一款結構緊湊的桌上型鍍膜系統，特別適用于掃描電鏡成像中非導電樣品高質量鍍膜。

主要特性

l 通過高效低壓直流磁控頭進行冷態精細的噴鍍過程，避免樣品表面受損。

l 操作容易快捷，控制的參數包括放氣以及氬氣換氣控制。

l 可用MTM-10高分辨膜厚控制儀（選件）標準測定所鍍膜的厚度。

l 數字化的噴鍍電流控制不受樣品室內氬氣壓力影響，可得到一致的鍍膜速率和很好的鍍膜效果。

可使用多種金屬靶材：Au， Au/Pd,，Pt,，Pt/Pd（Au靶為標配），靶材更換快速方便。

技術參數

濺射系統
樣品室大小	直徑120mm x 120mm 高
靶材	標配黃金Au靶，Pt等其它靶材可選大小：直徑57mm x 0.1mm厚
樣品臺	可以裝載12個SEM樣品座，高度可調范圍為50mm
濺射控制	微處理器控制，安全互鎖
濺射電流	5~45mA可調
濺射頭	低電壓平面磁控管，靶材更換快速，環繞暗區護罩
計量表	真空： Atm – 0.001mbar，電流：0~50mA
厚度監控 (選件)	使用MTM-10高分辨厚度監控儀（選件）標準測定所鍍膜的厚度
控制方法	具有氣體換氣和泄氣功能，帶有“暫停”控制的數字定時器（5－300s）
真空系統
真空泵	2級直連式高速真空泵
抽氣速率	3.0 m3/小時，真空度到 0.1mb所需時間30秒.
極限真空	5 x 10-3mba
桌上系統	真空泵可置于抗震臺上，全金屬集成耦合系統