真空探針臺

型號:HuaceZ600-D

精密小巧按需定制集成化設計性能穩定

測試類型： R-T ，C-V， I-V，R-I，Cp-D,ε測試

搭配儀器：源表、高阻計、直流低電阻測試儀、阻抗分析儀、半導體參數分析儀、

腔體:高真空腔體

樣品臺尺寸:4英寸

樣品固定:彈簧壓片

觀察窗口:6英寸

觀察窗口材質：藍寶石（保證紫外光的透過性）

真空度:2帕

探針臂接口:4個探針臂接口

電學測試接口:3同軸BNC*4、2同軸BNC*2\高壓接口10KV*1

輔助接口:真空接口、加熱器接口、熱電阻接口、液氮接口、保護氣接口、表面溫度熱電阻接口*2

制冷方式:液氮

溫度范圍:-196℃~600℃

溫控精度:±0.1℃

穩定性:-196℃-常溫±0.5℃、常溫-600℃±0.2℃

外形:650mm長*650mm寬*460mm高

重量:約100千克

光學系統

顯微鏡類型:單筒顯微鏡

放大倍率:20X-180X

移動行程: X軸行程100MM  Y軸行程50MM  Z軸行程50mm

光源:外置LED環形光源

CCD:2800萬像素

顯示器:10寸LED

探針臂

X-Y-Z移動行程:20mm*20mm*20mm

結構:外置探針臂，真空波紋管結構

移動精度:10微米

探針組件

線纜:同軸線

接頭類型:SMA

漏電精度:10fA

固定探針:夾緊固定

頻率支持:DC-67GHZ

針尖直徑:0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米

高壓組件

線纜:高壓電纜10KV

接頭類型:香蕉頭

其他組件

真空組件:機械泵

冷源組件:10L液氮罐