由超純水機制取二級水，并儲存至水箱備用，氫氣發生器缺水時，自動供給至氫氣發生器。

CVD專用氫氣發生器主要參數及需求：
1、氫氣純度： 99.9999-99.99999%
2、氫氣流量：1L-17L/min
3、輸出壓力：0-80psi（約0.5MPa）

4、壓力穩定性：< 0.001MPa

5、供電電源：220V±10% 50HZ
6、消耗功率：8kw(HYDROGEN-17L) 
7、純水需求：＞2MΩ&1L/h 
8、氫氣容積：＜20L(HYDROGEN-17L) 
9、環境溫度：1-40℃
10、相對濕度：<85% 
11、海拔高度：＜2000米 
12、外形尺寸：80x90x100（WxDxH cm）(HYDROGEN-17L) 
13、凈   重：約200kg(HYDROGEN-17L) 
CVD專用氫氣發生器主要特點：
1、儀器的全部工作過程均由程序控制，自動恒壓、恒流，通過串聯控制線，可實現多組并聯使用。 
2、使用固態電解質（PEM）法產生氫氣，以超純凈水原料，以固體聚合物為電解質，貴金屬做電極有效的除濕裝置，降低了原始濕度，純度穩定。 
3、操作方便使用時只需打開電源開關即可產氫，使用后無需泄壓，直接關閉電源即可。可連續使用，也可間斷使用，產氫量穩定不衰減。 
4、安全可靠：配有安全裝置，電解超純水制氫，無腐蝕、無污染，配有壓力控制，缺水自動監控，漏氣自動檢測。 
5、配備純水系統，完成自來水進水完成大流量的氫氣制備。