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反射式膜厚測量儀

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詳細介紹

產品特點:

?非接觸式、不破壞樣品的光干涉式膜厚計。

?高精度、高再現性測量紫外到近紅外波長反射率光譜,分析多層薄膜厚度、光學常數(n:折射率,k消光系數)。

?寬闊的波長測量范圍。(190nm-1100nm)

?薄膜到厚膜的膜厚測量范圍。1nm~250μm

?對應顯微鏡下的微距測量口徑。


產品規格:


標準型

厚膜專用型

膜存測量范圍

1nm~40μm

0.8μm~250μm

波長測量范圍

190~1100nm

750~850nm

感光元件

PDA512ch(電子制冷)

CCD512ch(電子制冷)

PDA512ch(電子制冷)

光源規格

D2(紫外線)、12(可見光)、D2+12(紫外-可見光)

12(可見光)

電源規格

AC100V±10V750VA(自動樣品臺規格)

尺寸

4810(H)×770(D)×714(W)mm(自動樣品臺規格之主體部分)

重量

約96kg(自動樣品臺規格之主體部分)


應用范圍:

FPD

-LCD、TFT、OLED(有機EL)

半導體、復合半導體

-矽半導體、半導體鐳射、強誘電、介電常數材料

資料儲存

-DVD、磁頭薄膜、磁性材料

光學材料

-濾光片、抗反射膜

平面顯示器

-液晶顯示器、膜膜電晶體、OLED

薄膜

-AR膜

其他

-建筑用材料


測量范圍:

玻璃上的二氧化鈦膜厚、膜質分析


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