AL120晶圓輸入器系列可快速、安全地將硅和化合物半導(dǎo)體晶圓從晶圓匣轉(zhuǎn)移到顯微鏡載物臺。該晶圓裝卸器旨在提高產(chǎn)品檢測通量，與我們的MX63半導(dǎo)體顯微鏡相結(jié)合，可組成可靠的晶圓檢測解決方案。

精確度和靈活性

可適應(yīng)多種晶圓尺寸的晶圓裝卸和檢測

適應(yīng)不同晶圓尺寸的能力是擴(kuò)建晶圓生產(chǎn)設(shè)施的關(guān)鍵。AL120系列根據(jù)晶圓直徑分為三種型號：200 mm型號、150 mm和200 mm可轉(zhuǎn)換型號以及適用于150 mm或以下晶圓尺寸的150 mm型號。每種系統(tǒng)均針對晶圓傳輸和顯微鏡檢測而設(shè)計。頂面和背面宏觀檢測也可用于所有晶圓尺寸。

晶圓尺寸和厚度

支持薄晶圓裝卸和檢測

為了滿足薄晶圓制造商的需求，AL120-LMB-90型號的撐臂設(shè)計可以裝卸一整匣90 μm晶圓。

得心應(yīng)手

增強(qiáng)型半導(dǎo)體晶圓宏觀檢測

• 360度自旋轉(zhuǎn)功能可對晶圓的頂面和背面進(jìn)行完整的宏觀檢測，從而輕松識別缺陷和塵埃。

• 內(nèi)置操縱桿控制頂面宏觀檢測期間晶圓的傾斜。操作員可以調(diào)整晶圓的角度以優(yōu)化檢測結(jié)果。

具有360度旋轉(zhuǎn)功能的宏觀檢測（模擬）

晶圓裝卸輕而易舉

• 為了滿足不同檢測例行程序的需求，AL120晶圓輸入器采用配方驅(qū)動，包含10種可編程系統(tǒng)配置，這些配置包括特定晶圓匣類型、晶圓規(guī)格和傳輸速度。快按按鈕選擇讓操作員可以瞬時裝載不同的產(chǎn)品。

• 晶圓裝卸器參數(shù)和配方設(shè)置顯示在LCD顯示屏上。操作員可以在檢測前后確認(rèn)例行程序和結(jié)果。

• AL120晶圓輸入器提供非接觸式光學(xué)對中和缺口/平面檢測和校直。這些功能減少了晶圓與設(shè)備之間的接觸，從而提高了晶圓清潔度。

性能可靠

在整個晶圓傳輸過程中盡量提高晶圓安全性

AL120的設(shè)計包括的先進(jìn)功能可盡量提高晶圓安全性。三傳感器系統(tǒng)持續(xù)監(jiān)控晶圓位置，以確保安全妥善地完成晶圓的取回、傳輸、裝載和卸載。這些功能可防止將多于一個晶圓裝載到插槽中以及意外的跨槽拾取而造成的損壞。

適用于半導(dǎo)體晶圓觀察的可靠顯微鏡平臺

AL120晶圓輸入器與我們的MX系列專用晶圓檢測顯微鏡連接，可在采用包括明場、暗場、微分干涉對比（DIC）和近紅外（NIR）等一系列觀察方法時提供杰出的圖像分辨率和清晰度。電動物鏡轉(zhuǎn)換器和孔徑光闌采用聯(lián)鎖設(shè)計，從而讓每個物鏡透鏡都能實現(xiàn)優(yōu)化的照明和對比度。晶圓裝卸器也可以通過特別定制適應(yīng)其他顯微鏡型號。

可提高操作員舒適度和工作效率的符合人體工程學(xué)的載物臺選件

• 速釋手動真空載物臺優(yōu)化了操作員的舒適度和效率。X-Y控制和晶圓旋轉(zhuǎn)是標(biāo)準(zhǔn)配置。

• 電動載物臺*讓檢測過程的自動化更進(jìn)一步，它可通過操縱桿或通過預(yù)編程例行程序進(jìn)行控制。可一鍵式驅(qū)動載物臺往返于裝載/卸載位置和歸位位置。

*電動載物臺在某些區(qū)域可能并未推出。