使用扁平長燈和RF（射頻）放電可在大面積上均勻照射并減少閃爍，從而提供穩定的輸出。 與電暈放電法，等離子體法，甚至其他準分子燈相比，EX-400可確保高精度，高質量的修改，清潔和粘合。