儀器簡介：
電子束入射到樣品上，即可用光學方法接收并分析陰極發光（CL），從而提供樣品詳細的物理特性。它是一種無損的分析方法，結合電鏡可提供與形貌相關的高空間分辨率光譜結果，是納米結構和體材料的獨特分析工具。
Flex-CLUE是一款高性能的CL分析儀器，適用于廣泛的應用領域。它基于光纖傳輸，是適用于有限空間的集成化系統。

原理圖

主要特點：
● 光纖耦合
●高效CL信號收集
●掃描成像、線掃描、點測量
●多種光柵選項
●多種焦長光譜儀選項：140mm-320mm
●光譜范圍：200nm-1000nm或400nm-1700nm

ZD應用領域：
陰極發光光譜儀（CL）是用來表征材料中的缺陷，元素和雜質追蹤的強大分析工具，廣泛適用于各個應用領域。

1、材料科學

●半導體和光電材料
●介電/陶瓷
●氧化物膜
●玻璃
2、礦物、地質
●碳酸巖
●晶體
●金剛石
●鋯石、方解石、白云石
3、GA
4、生命科學

CL光譜及成像：

■CL光譜：使用CL測量光譜時，可在電鏡下觀察并選擇待測樣品區域。	■快速CL成像：將掃描電子束與您的光譜儀同步，提供快速成像方案。使用HCLUE系統測量的GaN樣品，測量中使用了超快SWIFTTM成像模式。
礦物樣品中的白云石和磷酸鈣。測量使用Flex-CLUE系統，配備iHR320光譜儀和開放電極式CCD探測器。感謝Prof A. Jambon, UPMC France提供數據	左圖：使用偽彩色顯示350nm-450nm之間發射光譜區。figure 1, Hyperspectral CL mapping 中圖：電鏡下的樣品圖像。figure 2, SE image 右圖：對應的光譜，其中不同色彩區域與左圖中顯示的顏色對應。figure 3, CL spectral (RGB)