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二維MEMS掃描鏡

品牌：昊量/auniontech
型號： Two_Axis_MEMS_Mirrors
產地：歐洲德國
供應商報價：面議

上海昊量光電設備有限公司更新時間：2025-04-27 13:46:07

銷售范圍售全國

入駐年限第10年

營業執照已審核

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二維MEMS掃描鏡

所屬類別： ? 調制器 ? 微機電掃描鏡/MEMS掃描鏡

產品簡介

二維MEMS掃描鏡

無轉向節二維MEMS掃描鏡 超低功耗大角度超快二維掃描

微機電掃描鏡, 又稱MEMS掃描鏡，是通過電機驅動鏡面傾斜，從而對光束實現偏轉控制的器件。相比掃描振鏡等常見的光束掃描器件，MEMS掃描鏡具有體積小、重量輕、功耗低、對環境影響不敏感等特點，而且MEMS掃描鏡可與位置傳感器集成使用，實現更高的定位精度。

微機電掃描鏡, MEMS掃描鏡，MEMS Mirror, MicroMirror, Microscanner, Micro-scanning Mirror

這款無轉向節二維MEMS掃描鏡完全采用單晶硅材料制成。該二維MEMS掃描鏡中不含有任何移動的金屬、塑料和線圈等部件，也沒有易于發生故障的壓電或電磁促動器，所以該二維MEMS掃描鏡具有很高的位置重復精度與可靠性。同時，這款二維MEMS掃描鏡完全由免維護的純彈性材料(單晶硅)構成,并完全采用靜電驅動方式，因此工作過程中沒有電流。這款無轉向節二維MEMS掃描鏡可實現大角度、超快二維光束掃描。二維掃描角度可達32度，并且功耗極低，僅1mW。該二維MEMS掃描鏡采用線性驅動方式和四象限可尋址靜電梳驅動設計，保證了很好的電壓與角度的線性度。

主要特點：

l 模擬電壓控制可實現任意角度偏轉；

l 點到點光束掃描，驅動電壓與掃描角度一一對應；

l 模塊設計方便選擇各種不同尺寸的鏡面，以根據不同應用實現優化；

l 同時在XY兩個方向實現高速掃描

l 動態模式掃描，XY兩個方向大角度掃描(e.g. -16⁰ to 16⁰)

主要參數：

Integrated Mirror Devices	Bonded Mirror Devices
鏡面大小: 0.8mm, 1.2mm, 1.6mm, 20.mm and 2.4mm diameter always in stock	鏡面大小:2.0, 2.4, 3.0, 3.6, 4.2, and 5.0mm diameter in stock, larger possible in special orders.
點到點驅動模式最大傾斜角度: -6° to +6° mechanical each axis, varies with design type.	點到點驅動模式最大傾斜角度:-6° to +6° mechanical on each axis, varies with design type.
共振驅動模式最大傾斜角度：-7° to +7° mechanical	共振驅動模式最大傾斜角度:-7° to +7° mechanical, varies with design type.
表面粗糙度:<10 nmrms 驅動方式:靜電驅動鏡面曲率半徑:>5 m 鏡面鍍膜:Aluminum or Gold 位置重復精度:better than 0.0005° (500 micro-degrees) at room temperature 工作溫度:-40°C to 105°C 光學窗口:Anti-reflection coated fused silica windows. 光學損傷閾值:up to 2W any mirror, any wavelength. Above 2W depends on mirror size, coating, and wavelength. E.g. 3W CW blue or green on a 2mm or larger mirror . 初始共振旋轉頻率:>3 kHz for both axes for small mirror sizes, >1.2kHzfor 2.0mm size, etc.