核心優勢

樣品室可抽高真空用于樣品真空保存。
卷帶親水化處理，顯著改善親水性。
掃描電鏡/透射電鏡樣品清洗。
電感耦合等離子體(ICP)清洗源，對樣品無污染。
高效去除表面碳氫污染物。
高清觸摸屏，一鍵操作。

用戶界面

用戶界面簡潔，參數設置便利

工作時顯示設備關鍵參數，全過程可控

模塊化設計，不同功能間切換快捷

維護簡單，無需特殊保養

性能參數

應用案例

1.卷帶樣品

2.硅片樣品