簡(jiǎn)介

*全自動(dòng)多功能離子束研磨系統(tǒng)，可進(jìn)行離子減?。ㄓ糜赥EM)；離子束拋光，離子刻蝕，樣品離子清洗及斜坡切割（用于SEM)等
*離子束能令1keV 10keV,2把離子槍可分別±45°傾斜，樣品臺(tái)傾斜角度-120°至210°，離子束加工角度0°至90°
*樣品平面擺動(dòng)角度<360°，垂直擺動(dòng)距離±5mm
*可容納zei大樣品尺寸：直徑25mm，高度12mm
*可選配樣品臺(tái)：TEM樣品臺(tái)（?3.0mm或?2.3mm），F(xiàn)IB樣品清洗臺(tái)，SEM樣品臺(tái)，斜坡切割樣品臺(tái)（對(duì)樣品35°或90°斜坡切割）及相應(yīng)冷凍樣品臺(tái)
*全無油真空系統(tǒng)，樣品室?guī)в蓄A(yù)抽室，保證樣品交換時(shí)間<1分鐘
*全電腦控制，觸摸屏操作界面，內(nèi)置視頻觀察系統(tǒng)，可實(shí)時(shí)觀察樣品處理過程