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納米操作機(jī)、納米機(jī)械手、納米操縱機(jī)械臂、納米操縱儀TNI LF-2000

蘇州微艾精密科技有限公司更新時(shí)間：2021-05-08 18:04:39

銷售范圍售全國

入駐年限第7年

營業(yè)執(zhí)照已審核

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產(chǎn)品特點(diǎn)

小尺寸：小型化設(shè)計(jì)，結(jié)構(gòu)緊湊，zui小尺寸可達(dá)50x50x17mm
高精度：納米級微操作
易操作：XYZ直角坐標(biāo)，支持PC/遙感操作

納米操作機(jī)、納米機(jī)械手、納米操縱機(jī)械臂、納米操縱儀TNI LF-2000

產(chǎn)品簡介

TNI LF-2000是兼容SEM/FIB的自動(dòng)化納米操作系統(tǒng)，也是能夠在SEM/FIB下提供可重復(fù)定位、低漂移、閉環(huán)運(yùn)動(dòng)控制定位的納米操作系統(tǒng)。

產(chǎn)品特征

完全兼容主流電鏡，不影響電鏡功能
· 卓越的運(yùn)動(dòng)定位性能：大行程、亞納米分辨率
· 位移傳感器集成自動(dòng)化和可編程運(yùn)動(dòng)
· SEM真空環(huán)境優(yōu)化設(shè)計(jì)，可快速安裝與拆卸

規(guī)格參數(shù)

系統(tǒng)概況	系統(tǒng)尺寸	127x127x33mm³
系統(tǒng)概況	機(jī)械手?jǐn)?shù)量	1-4
操作手（宏動(dòng)）	驅(qū)動(dòng)原理	粘滑驅(qū)動(dòng)
	運(yùn)動(dòng)范圍	XY軸：10mm Z軸：5mm
	最大速度	>3mm/s
	最小步長	<100nm
操作手（微動(dòng)）	驅(qū)動(dòng)原理	無摩擦柔性鉸鏈
	運(yùn)動(dòng)范圍	XYZ軸：20μm
	最大速度	>45μm/s
	開環(huán)運(yùn)動(dòng)分辨率	0.5nm
	閉環(huán)運(yùn)動(dòng)分辨率	1nm
	定位漂移率	<0.35nm/min
軟件功能**	點(diǎn)擊-移動(dòng)	鼠標(biāo)在電腦屏幕上從A移動(dòng)到B
	自適應(yīng)放大倍數(shù)	定位器移動(dòng)速度根據(jù)SEM放大自動(dòng)調(diào)整
	操作手位置保存/加載	用戶自定義的“保存/加載”操作手坐標(biāo)
	3D虛擬顯示	實(shí)時(shí)三維顯示操作手的位置和運(yùn)動(dòng)
	自動(dòng)校準(zhǔn)	操作手閉環(huán)傳感器自動(dòng)校準(zhǔn)
	運(yùn)動(dòng)軸的自動(dòng)對準(zhǔn)	所有操作手運(yùn)動(dòng)軸自動(dòng)對準(zhǔn)SEM圖像軸