CEL-OPTH高溫光熱催化反應(yīng)系統(tǒng)（光熱協(xié)同），在光熱協(xié)同的作用下，實(shí)現(xiàn)催化新材料的合成與光熱催化活性的表征。系統(tǒng)由高溫反應(yīng)爐、石英反應(yīng)管、法蘭接頭、氙燈光源、導(dǎo)光柱、滑動(dòng)平臺(tái)等部分組成，該系統(tǒng)的優(yōu)勢是在高溫加熱過程中，上方氙燈光源產(chǎn)生的光可通過導(dǎo)光柱由外向內(nèi)導(dǎo)入石英反應(yīng)管并照射到反應(yīng)樣品上，實(shí)現(xiàn)了光熱催化協(xié)同作用。

• 材料合成，高溫加熱（最高1000℃）的同時(shí)加入光源，提高催化劑材料的產(chǎn)率、改變材料的形貌特征、提高材料的各種催化性能。




• 材料表征，評價(jià)光熱協(xié)同情況下催化劑材料的活性。




• CEL-OPTH高溫光熱催化反應(yīng)系統(tǒng)（光熱協(xié)同），主要應(yīng)用于半導(dǎo)體材料的合成燒結(jié)、催化劑材料的制備、材料的活性評價(jià)、光解水制氫、光解水制氧、二氧化碳還原、氣相光催化、甲醛氣體的光催化降解、VOCs、NOx、SOx、固氮等領(lǐng)域。

CEL-OPTH高溫光熱催化反應(yīng)系統(tǒng)的特點(diǎn)：


• 1)高溫光熱催化反應(yīng)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)高溫過程中光催化反應(yīng)體系，常溫～1000℃（連續(xù)可調(diào)、程序升溫）；




• 2)可以讓紫外光、可見光、紅外光等光源照射到催化劑材料的表面，實(shí)現(xiàn)光熱協(xié)同；




• 3)光熱催化反應(yīng)器采用高透光石英玻璃管，內(nèi)含石英專用樣品臺(tái)；




• 4)可以實(shí)現(xiàn)氣氛保護(hù)、抽取真空、PECVD、多種氣體流量控制等功能；




• 5)系統(tǒng)采用滑動(dòng)可平移的滑動(dòng)結(jié)構(gòu)，可以隨時(shí)調(diào)整樣品位置，實(shí)現(xiàn)快速加熱或快速冷卻；




• 6)采取模塊化設(shè)計(jì)，光源、高溫反應(yīng)爐、高溫石英反應(yīng)器、高真空、PECVD等，可根據(jù)情況任意更換。




• 7)可根據(jù)用戶需求，特殊定制，生產(chǎn)周期短、效率高。 





• 光熱協(xié)同系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)




CEL-OPTH-Ⅰ高溫光熱催化反應(yīng)系統(tǒng)（光熱協(xié)同）
序號(hào)	技術(shù)	參數(shù)
1	加熱功率	1.2KW  （220V、50Hz）
2	爐體隔熱	風(fēng)冷隔熱
3	控溫范圍	常溫~1000℃  （1℃），最高1200℃；
4	加熱/冷卻	加熱30℃/min，冷卻60℃/min
5	快速冷卻	風(fēng)冷
6	標(biāo)配光源	CEL-PF300-T8氙燈光源系統(tǒng)（含濾光片）
7	工作區(qū)	150mm；
8	加熱管	直徑60mm，平面照射；材質(zhì)：紫外高透高純石英； （選配30mm）
9	導(dǎo)光筒	石英棒，60mm，可更換玻璃，材質(zhì)：紫外高透高純石英
10	法蘭接頭	ZG法蘭接頭，兼顧氣密性和快速更換
11	滑軌	不銹鋼雙向滑軌，長度1100mm；（可升級自動(dòng)滑軌）
12	選配光源	汞燈光源、LED光源、微波無極光源
13	選配模塊	（1）PECVD 模塊；（2）高真空系統(tǒng)模塊；（3）配氣系統(tǒng)模塊
14	測試分析	（1）    氣相色譜儀  GC7920     (2)離子色譜儀（NH4+，NO2-，NO3-，SO42-，Br-等）；


選配模塊：


• 1.PECVD模塊：




• 為了使化學(xué)反應(yīng)能在較低的溫度下進(jìn)行，利用了等離子體的活性來促進(jìn)反應(yīng)，等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法（PECVD）。環(huán)境溫度100~300℃，反應(yīng)氣體在輝光放電等離子體中能受激分解，解離和離化，從而大大提高了反應(yīng)物的活性。這些具有反應(yīng)活性的中性物質(zhì)很容易被吸附到較高溫度的基體表面上，發(fā)生非平衡的化學(xué)反應(yīng)沉積生成薄膜。




• 等離子設(shè)備參數(shù)




功率	50～500W連續(xù)可調(diào)；AC220V、50HZ
Rf頻率	13.56MHZ（0.005%），穩(wěn)定可調(diào)
噪聲	≤55DB
冷卻	風(fēng)冷

•  




• 2.高真空系統(tǒng)模塊




•    高真空系統(tǒng)采用高級分子泵110機(jī)組，并配合壓力表、真空計(jì)，組成高真空系統(tǒng)。實(shí)現(xiàn)高真空度10

• -3

• Pa。




• .高真空系統(tǒng)參數(shù)




抽氣速率（對空氣）	110L/S
前級泵抽速	4L/S
壓縮比	氮?dú)猓?gt;108； 氫氣：5×102
極限壓強(qiáng)	6×10-7Pa
建議啟動(dòng)壓強(qiáng)	<100 Pa
輸入電壓頻率	220±20/50（V/Hz）

•  




• 3.配氣系統(tǒng)模塊




•     采用質(zhì)量流量計(jì)控制氣體流量，調(diào)配所需氣體，實(shí)現(xiàn)數(shù)字控制流量和流速。采用日本技術(shù)設(shè)計(jì)的質(zhì)量流量計(jì)。




• 4.分析系統(tǒng)模塊




•   氣相色譜儀、離子色譜儀、液相色譜儀、氮氧化物分析儀、硫化物分析儀、光聲光譜等可供選擇。




CEL-OPTH-Ⅰ高溫光熱催化反應(yīng)系統(tǒng)
光熱協(xié)同系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)（標(biāo)準(zhǔn)型）

CEL-OPTH-Ⅰ高溫光熱催化反應(yīng)系統(tǒng)（光熱協(xié)同）
重要應(yīng)用（材料制備+材料表征） 1)        高溫光熱催化反應(yīng)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)高溫過程中光催化反應(yīng)，評價(jià)催化劑性能；  2)        可以讓紫外光、可見光等光源照射到催化劑材料的表面，實(shí)現(xiàn)光熱協(xié)同； 3)        光熱催化反應(yīng)器采用高透光石英玻璃管，可定制樣品臺(tái)； 4)        系統(tǒng)采用可平移的滑動(dòng)結(jié)構(gòu)，隨時(shí)調(diào)整樣品位置，實(shí)現(xiàn)快速加熱或快速冷卻；
序號(hào)	技術(shù)	參數(shù)
1	加熱功率	1.2KW  （220V、50Hz）
2	爐體隔熱	風(fēng)冷隔熱
3	控溫范圍	常溫~1000℃  （1℃），最高1200℃；
4	加熱/冷卻	加熱30℃/min，冷卻60℃/min
5	快速冷卻	風(fēng)冷
6	工作區(qū)	150mm；
7	加熱管	直徑60mm，平面照射；材質(zhì)：紫外高透高純石英； （選配30mm）
8	導(dǎo)光筒	石英棒，60mm，可更換玻璃，材質(zhì)：紫外高透高純石英
9	法蘭接頭	ZG法蘭接頭，兼顧氣密性和快速更換
10	滑軌	不銹鋼雙向滑軌，長度1100mm；（可升級自動(dòng)滑軌）
11	標(biāo)配光源	CEL-PF300-T8氙燈光源系統(tǒng)（含濾光片）


 CEL-OPTH-Ⅱ高溫光熱催化反應(yīng)系統(tǒng)
光熱協(xié)同系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)（中真空型）


CEL-OPTH-Ⅱ高溫光熱催化反應(yīng)系統(tǒng)（光熱協(xié)同）
重要應(yīng)用（材料制備+材料表征） 1)        高溫光熱催化反應(yīng)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)高溫過程中光催化反應(yīng)，評價(jià)催化劑性能； 2)        實(shí)現(xiàn)中真空系統(tǒng)下的光熱催化，并配置等離子體活化系統(tǒng)，一體化設(shè)計(jì)； 3)        可以讓紫外光、可見光等光源照射到催化劑材料的表面，實(shí)現(xiàn)光熱協(xié)同； 4)        光熱催化反應(yīng)器采用高透光石英玻璃管，可定制樣品臺(tái)； 5)        系統(tǒng)采用可平移的滑動(dòng)結(jié)構(gòu)，隨時(shí)調(diào)整樣品位置，實(shí)現(xiàn)快速加熱或快速冷卻；
序號(hào)	技術(shù)	參數(shù)
1	加熱功率	1.2KW  （220V、50Hz）
2	爐體隔熱	風(fēng)冷隔熱
3	控溫范圍	常溫~1000℃  （1℃），最高1200℃；
4	加熱/冷卻	加熱30℃/min，冷卻60℃/min
5	快速冷卻	風(fēng)冷
6	工作區(qū)	150mm；
7	加熱管	直徑60mm，平面照射；材質(zhì)：紫外高透高純石英； （選配30mm）
8	導(dǎo)光筒	石英棒，60mm，可更換玻璃，材質(zhì)：紫外高透高純石英
9	法蘭接頭	ZG法蘭接頭，兼顧氣密性和快速更換
10	滑軌	不銹鋼雙向滑軌，長度1100mm；（可升級自動(dòng)滑軌）
11	標(biāo)配光源	CEL-PF300-T8氙燈光源系統(tǒng)（含濾光片）
12	等離子、中真空配置	等離子線圈、等離子電源、真空泵、真空計(jì)、控制電源




 CEL-OPTH-Ⅲ高溫光熱催化反應(yīng)系統(tǒng)
光熱協(xié)同系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)（高真空PECVD）


CEL-OPTH-Ⅲ高溫光熱催化反應(yīng)系統(tǒng)（光熱協(xié)同）
重要應(yīng)用（材料制備+材料表征） 1)        高溫光熱催化反應(yīng)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)高溫過程中光催化反應(yīng)，評價(jià)催化劑性能； 2)        實(shí)現(xiàn)高真空系統(tǒng)下的光熱，并配置等離子體活化系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)PECVD； 3)        配置三路氣體流量控制，適用于光照高溫CVD工藝下的材料制備； 4)        可以讓紫外光、可見光等光源照射到催化劑材料的表面，實(shí)現(xiàn)光熱協(xié)同； 5)        光熱催化反應(yīng)器采用高透光石英玻璃管，可定制樣品臺(tái)； 6)        系統(tǒng)采用可平移的滑動(dòng)結(jié)構(gòu)，隨時(shí)調(diào)整樣品位置，實(shí)現(xiàn)快速加熱或快速冷卻；
序號(hào)	技術(shù)	參數(shù)
1	加熱功率	1.2KW  （220V、50Hz）
2	爐體隔熱	風(fēng)冷隔熱
3	控溫范圍	常溫~1000℃  （1℃），最高1200℃；
4	加熱/冷卻	加熱30℃/min，冷卻60℃/min
5	快速冷卻	風(fēng)冷
6	工作區(qū)	150mm；
7	加熱管	直徑60mm，平面照射；材質(zhì)：紫外高透高純石英； （選配30mm）
8	導(dǎo)光筒	石英棒，60mm，可更換玻璃，材質(zhì)：紫外高透高純石英
9	法蘭接頭	ZG法蘭接頭，兼顧氣密性和快速更換
10	滑軌	不銹鋼雙向滑軌，長度1100mm；（可升級自動(dòng)滑軌）
11	標(biāo)配光源	CEL-PF300-T8氙燈光源系統(tǒng)（含濾光片）
12	高真空PECVD配置	等離子線圈、等離子電源、前級真空泵、分子泵（10-3Pa）、真空計(jì)、真空計(jì)、高真空規(guī)、控制電源、三路質(zhì)量流量計(jì)控制（200sccm），混配氣系統(tǒng)，控制系統(tǒng)



 CEL-OPTH-Ⅳ高溫光熱催化反應(yīng)系統(tǒng)
光熱協(xié)同系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)（流量控制

）








CEL-OPTH-Ⅳ高溫光熱催化反應(yīng)系統(tǒng)（光熱協(xié)同）
重要應(yīng)用（材料制備+材料表征） 1)        高溫光熱催化反應(yīng)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)高溫過程中光催化反應(yīng)，評價(jià)催化劑性能； 2)        配置三路氣體流量控制，適用于光照高溫氣體保護(hù)或氣體參與反應(yīng)的材料制備； 3)        可以讓紫外光、可見光等光源照射到催化劑材料的表面，實(shí)現(xiàn)光熱協(xié)同； 4)        光熱催化反應(yīng)器采用高透光石英玻璃管，可定制樣品臺(tái)； 5)        系統(tǒng)采用可平移的滑動(dòng)結(jié)構(gòu)，隨時(shí)調(diào)整樣品位置，實(shí)現(xiàn)快速加熱或快速冷卻；
序號(hào)	技術(shù)	參數(shù)
1	加熱功率	1.2KW  （220V、50Hz）
2	爐體隔熱	風(fēng)冷隔熱
3	控溫范圍	常溫~1000℃  （1℃），最高1200℃；
4	加熱/冷卻	加熱30℃/min，冷卻60℃/min
5	快速冷卻	風(fēng)冷
6	工作區(qū)	150mm；
7	加熱管	直徑60mm，平面照射；材質(zhì)：紫外高透高純石英； （選配30mm）
8	導(dǎo)光筒	石英棒，60mm，可更換玻璃，材質(zhì)：紫外高透高純石英
9	法蘭接頭	ZG法蘭接頭，兼顧氣密性和快速更換
10	滑軌	不銹鋼雙向滑軌，長度1100mm；（可升級自動(dòng)滑軌）
11	標(biāo)配光源	CEL-PF300-T8氙燈光源系統(tǒng)（含濾光片）
12	流量控制配置	控制電源、三路質(zhì)量流量計(jì)控制（200sccm），混配氣系統(tǒng)，閥門、氣體混合罐、連接管路、控制系統(tǒng)