特點:

大幅度提高了驅(qū)動速度（X1軸：80mm/s,Z2軸：30mm/s),近一步降低了總測量時間。

為了在一定時段內(nèi)維持儀器的直線度規(guī)格，三豐公司采用了具有的耐摩擦性及穩(wěn)定性的高硬度陶瓷導軌。

大量的外周設備選件支持 CNC 模式，從而可以很容易實現(xiàn)CNC 測量。

驅(qū)動裝置（X1軸）和立柱（Z2軸）中集成了高精度線性編碼器（Z2軸為 ABS 型），從而提高了在垂直方向持續(xù)自動測量小孔和不易定位工件的重復精度。

zuixin設計的測臂減少對工件的干擾和擴大了Z1軸（高度）方向的測量范圍。

一觸式可安裝無拆卸的測臂。

X1軸精度 ±（0.8+0.01L）μm

Z1軸精度 ±（1.6+|2H|/100）μm,針對高精度測工件的測量所設計

技術(shù)參數(shù)

X1軸

測量范圍: 100mm或200mm

分辨率: 0.05μm

測量速度: 0.02-5mm/s

直線度: 0.8μm/100mm，2μm/200mm

指示精度: （20℃時） ±（0.8+0.01L）μm（CV-3200S4，H4，W4）

±（0.8+0.02L）μm（CV-3200S8，H8，W8）

傾斜范圍: ±45°

Z2軸（立柱）

垂直移動 : 300mm或500mm

分辨率: 1μm

驅(qū)動速度: 0-30mm/s外加手動

Z1軸（檢出器）

測量范圍: ±30mm

分辨力: 0.04μm

指示精度（20℃時）: ±（1.6+|2H|/100）μm

測針方向: 向上/向下

測力: 30mN

角度跟蹤: 向上:77°,向下:83°

測針針尖: 半徑：25μm，硬質(zhì)合金針尖