島津ICPS-8100是順序掃描型ICP，具有高分辨率，更適用于基體復雜的樣品，如稀土、鉬、鎢等。ICPS-8100使用島津自主生產的全球Z高刻線的光柵（4960條/mm），對UV區譜線實現全球Z高分辨率。

波長范圍：160-850nm
光學系統：雙光柵分光器
光柵刻線數：4960條/mm（160-372nm）
真空紫外區元素對應：真空型分光器
分器溫度：恒溫控制
RF高頻發生器：晶體振蕩型
頻率：27.12MHz
炬管：垂直放置
觀測方向：縱向觀測、軸向觀測切換（選配）
霧化器：同心型
霧化室：旋流霧室
等離子體炬管：標準炬管
軟件：定性分析、定量分析、110000條譜線專家數據庫、漂移校正、內標校正、背景校正、空白扣除、共存元素校正

島津ICP全球du家使用真空光室，真正簡單實現160-190nm的深UV區譜線的測定。對深UV區的元素檢測，如Al、As、B、P、Pb、Sn、I、Br、S等，具有重要意義。采用的晶體管固態高頻發生器，是目前商品化ICP光譜儀中，體積最小、重量最輕的發生器。霧化效率高，達到65%。所以，載氣可以用工業氬氣（99.95%），而無需使用高價的高純氬氣（99.999%）。