機器尺寸(mm) ：   190 x 320 x 305
 

溫度范圍

1) 發煙硫酸： 25C - 250C

2) 發煙硝酸： 25C - 90C

3) 混酸： 25C - 100C (Elite Etch)

4) 混酸(ZG)：10C -100C (Elite Etch Cu)
 

抽酸流量   :  1-8 ml / minute

蝕刻頭組件:  固定式碳化硅(保固3年)

N2 氣體支持 2.0 lpm (安全蓋子+泵)氣壓為60-70psi

安全

1) 自動顯示錯誤信息

2) 設置EMO緊急停止按扭

3) 漏酸偵測在設備內部和瓶子BOX里

4) 采用光纖感應蓋子的密合度(不是耗材)

5) 所有管路一體化設計，雙層保護套，并且酸瓶盒配有蓋子

廢酸瓶  :  1個
 

固定樣品方式: 子蓋下以后，自動從上到下，直接固定樣品
 

密封圈  :  圓型（不是耗材）