勻膠機(jī) SM-150 是手動或半自動薄膜涂覆的zui佳選擇，適用于表面沒有或有非常矮形貌的基板涂膠作業(yè)。所有市面上的光刻膠與涂層材料都可被均勻涂覆到尺寸最大為 150mm (6”) 127x127mm (5”x5”)的基板上。工藝腔設(shè)計(jì)可滿足最大直徑為 176mm。

 SM系列的優(yōu)點(diǎn)在于，具有令人信服的高度涂膜均勻性和工藝重復(fù)性，并且操作簡單、使用舒適。為了使花費(fèi)在工藝腔清潔上的精力最小化，SAWATEC   公司開發(fā)了一種極其實(shí)用且經(jīng)濟(jì)的工藝腔保護(hù)碗。工藝結(jié)束后，可以簡單地移除和清理這種保護(hù) 碗。經(jīng)由如此的高品質(zhì)設(shè)計(jì)，也可以將維護(hù)成本最小化。因此，SAWATEC勻膠機(jī)可被優(yōu)先應(yīng)用于實(shí)驗(yàn)室，研發(fā)，試產(chǎn)項(xiàng)目以及研究所。

功能（基本配置）

?？删幊?，最多 50 個(gè)程序(各包含 24 個(gè)程序段)

。適用于重復(fù)工藝的快速啟動功能

。觸摸屏面板控制，方便用戶程序配置工藝參數(shù)：轉(zhuǎn)速、加速度、工藝時(shí)間旋轉(zhuǎn)方向可選 (順時(shí)針、逆時(shí)針)

。手動裝卸基板
。通過具有安全保護(hù)的真空系統(tǒng)進(jìn)行基板固定

。手動蓋子帶有空氣入口和閉合安全保護(hù)工藝結(jié)束時(shí)的聲音信號

性能數(shù)據(jù)

。速范圍：0 到 10,000rpm +/-1rpm

。轉(zhuǎn)速加速度：0–8,000rpm 為0.8秒/0–10,000rpm為1秒 1)

。減速度：10,000rpm-0 為2.5秒/8,000rpm-0 為0.8秒 1)

。工藝時(shí)間最長為 2376 s

。每個(gè)程序段的給膠時(shí)間為 99 s

 

附加功能（可選項(xiàng)）

。半自動的管式給膠系統(tǒng)，帶有手動給膠手臂和回吸功能的

。工藝腔的手動氮?dú)鈨艋b置

。用于簡化操作的“啟動/停止”腳踏開關(guān)(電纜長度 1.8m)

。經(jīng)陽極電鍍處理的鋁制工藝腔

。鋁制或 PE(聚乙烯)材料制成的工藝腔保護(hù)碗用于 SM-150 勻膠機(jī)的真空泵

。晶圓定位器 2”–6”(圓形)

旋轉(zhuǎn)卡盤分類

為了達(dá)成wan美涂覆效果，我們提供了不同尺寸、材料和設(shè)計(jì)的旋轉(zhuǎn)卡盤。根據(jù)用途的不同，可使用單塊結(jié)構(gòu)或具有光學(xué)輔助置中功能的兩部分構(gòu)成的旋轉(zhuǎn)卡盤。為避免基板背面被弄臟，有時(shí)不僅要選擇zui佳的旋轉(zhuǎn)卡盤尺寸，還要采用專門的卡盤設(shè)計(jì)。旋轉(zhuǎn)卡盤的更換過程非常簡單，不需要使用工具。

。真空卡盤小片

。真空卡盤 1” 3”(圓形)

。真空卡盤 100mm(4”) 150mm(6”)

。真空卡盤 100x100mm(4”x4”) 真空卡盤 125x125mm(5”x5”) 其他卡盤需咨詢

設(shè)計(jì)和尺寸

。桌上式版本 SM -150-BT，

。內(nèi)嵌式版本 SM-150-BM

。緊湊且節(jié)省空間的結(jié)構(gòu)形式

。POM(聚甲醛樹脂)材料制成的工藝碗，確保了高材料兼容性

。POM(聚甲醛樹脂)材料制成的集成式防濺環(huán)，確保無光刻膠濺出。透明蓋板：玻璃制成

。具有 3.5” 彩色顯示屏的觸摸屏面板

。高精度，高動態(tài)的交流伺服電機(jī)

。經(jīng)電解拋光處理的不銹鋼外殼

。外殼(BT): 350 x 510 x 403mm (長*寬*高）

。重量(BT): 約 29kg

。安裝模塊(BM): 300 x 300 x 368mm (長 x 寬 x

。安裝面板 320 x 166 x 50mm ( 長 x  寬 x

。重量(BM): 約 20kg

接口

。230 VAC 50/60Hz 10A

。腳踏開關(guān)用插頭接口

。技術(shù)真空，軟管 ?6/4mm(-0.8bar)
。壓縮空氣或氮?dú)廛浌?6/4mm(3bar) (僅 限于和給膠系統(tǒng)配合使用)

。排放接口 ?12mm

。BT 廢氣接口 ?38mm(20–50m3/h) BM 廢氣接口 ?25mm(20–50m3/h)